Medidor de flujo ultrasónico especial para el control del líquido de molienda cmp

Medidor de flujo ultrasónico especial para el control del líquido de molienda cmp

I. conceptos básicos del pulido químico - mecánico (cmp):

CMP， Es decir, el pulido químico - mecánico, es una tecnología que consiste en moler y pulir con precisión la superficie de las pastillas de silicio mediante una combinación de química y mecánica. Es la base de hardware de esta tecnología la que puede lograr la planificación global de la superficie de las pastillas de silicio y proporcionar una buena base para los procesos posteriores. El equipo CMP es un equipo de proceso clave en el campo de la fabricación de semiconductores.

Medidor de flujo ultrasónico especial para el control del líquido de molienda cmp

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1. situación básica del equipo cmp

1) principales procesos del CMP

El proceso CMP incluye tres pasos principales: pulido, limpieza y transmisión. Durante el proceso de pulido, la composición química en el líquido de pulido reacciona con el material de la superficie de la pasta para formar una película delgada que se puede eliminar mecánicamente, y luego la almohadilla de pulido elimina la película a través de una acción mecánica para lograr la suavidad de la superficie.

2) tipos principales de equipos cmp

Los dispositivos CMP se pueden dividir en dispositivos compatibles de 8 pulgadas, 12 pulgadas y 6 / 8 pulgadas de acuerdo con las necesidades del lado de la Aplicación.

3) principales áreas de aplicación de equipos cmp

Se utiliza principalmente en el campo de la fabricación de semiconductores, y la cadena de la industria de semiconductores se puede dividir en cuatro enlaces principales: fabricación de materiales de obleas, diseño de semiconductores, fabricación de semiconductores y pruebas de encapsulamiento. Además del enlace de diseño de semiconductores, hay aplicaciones de equipos CMP en otros campos:

① enlace de fabricación de materiales de obleas: en el enlace de pulido, es necesario aplicar equipos CMP para obtener materiales de obleas planos.