SU1510

Especificaciones estándar

(1) Especificaciones básicas

Resolución de imagen SE 3,0 nm a 30 kV (x100.000, WD = 5 mm, modo de alto vacío)
15 nm a 3 kV (x30.000, WD = 5 mm, modo de alto vacío)

Resolución de imagen BSE 4,0 nm a 30 kV (x60.000, WD = 5 mm, 6 Pa en modo de bajo vacío)

Magnificación : '5 -¿¿ qué?300.000
(Las ampliaciones más altas y más bajas dependen de la aceleración de la tensión, WD y la velocidad de escaneo)

(2) ElectronOptics

Fuente de haz de electrones : Filamento de cartucho precentrado (filamento de pino de pelo de tungsteno)

Aceleración de voltaje de 0,3 kV a 30 kV

Bias del arma: Bias del cuadrante

Alineación de haz Deflexión electromagnética de 2 etapas (funciona como blanqueo de haz cuando una imagen está congelada)

Sistema de lentes: óptica de reducción de lentes electromagnéticas de 3 etapas

Estigmatizador: X-Y octopolo electromagnético

Bobina de escaneo : desviación electromagnética de 2 etapas

Apertura móvil objetivo: 4 agujeros con diseño de tope de clic (30, 50, 80, 150 µm de diámetro)

Cambio de imagen: ±50 µm o más a WD = 15 mm

Posición de análisis WD = 15 mm, TOA = 35Grados

Detectores: detector SE en modo de alto vacío
Detector de BSE en los modos de vacío alto y bajo

(3) Especimen

(4) Sistema de evacuación

Control de evacuación Secuencia totalmente automática con válvulas de motor

Medidor de vacío : Calibre Pirani

El vacío definitivo : 1,5 x 10^-3Pa

Rango de presión ajustable: 6 – 270 Pa (solo modo de vacío interior)

Bomba de vacío:Bomba Molecular Turbo (TMP) 210L/s,¿¿ qué?1 bomba rotativa de aceite 135 l / min. (50Hz), 162 l / min. (60Hz),¿¿ qué?1

(5) Exposición

Control: Interfaz gráfica de usuario (GUI), menú en inglés

Sistema operativo: Microsoft^®ventanas^®XP Profesional

Operación: Ratón/teclado, conjunto de botones rotativos (opción)

Monitor: 19 tipo LCD (1280)¿¿ qué?1024 píxeles en el escritorio)

Modo de visualización de la imagen Pantalla completa (1280 ´960 píxeles)
Pantalla estándar (640)´480 píxeles)
Display de imagen doble (640 ´480 píxeles)¿¿ qué?2), mezcla de señal

Modo de escaneo TV/RÁPIDO

: Lento

Área reducida (320)¿¿ qué?240 píxeles)

: Forma de onda

: pantalla dividida / ampliación doble

Captura de imágenes de alta definición (max. 2560 ´1920 píxeles)

Captura de imagen de integración de marco (max. 2560 ´1920 píxeles)

Velocidad de escaneo : Escáner de TV
(640¿¿ qué?480 píxeles, 25/30* fotogramas/s.)

Escáner rápido:
(pantalla completa: 6.3/7.5* fotogramas/s.)

: escaneo lento
(pantalla completa: 1, 4, 20/16, 40/32, 80/64 * sec./marco)
(640¿¿ qué?480 píxeles: 0,5, 2, 10/8, 20/16, 40/32*sec./marco)

Escáner de área reducida
(320¿¿ qué?240 píxeles: 25/30,3/4* fotogramas/s.)
* Frecuencia de la fuente de alimentación: 50/60Hz

Funciones de ajuste automático

Brillo y contraste automático (ABCC)

Control de enfoque automático (AFC)

Estigmatizador automático y enfoque (ASF)

Saturación automática del filamento (AFS)

Alineación automática del haz (ABA)

Ajuste automático de viga (ABS)
(AFS + ABA + Bias automático de pistola)

Funciones de procesamiento de señales e imágenes

Mejora de la relación S/N mediante el promedio (TV, escaneo rápido)

Mejora de la relación S/N mediante la integración de píxeles

Mejora de la relación S/N mediante la integración de fotogramas
(fotogramas máximos para la integración: 1024) (TV, RÁPIDO, SLOW1)

Visualización de imagen bicolor compuesta
(En tiempo real en modo de visualización de imagen doble / Guardar imagen)

: Pseudo pantalla de color (Guardar imagen)

Procesamiento de imágenes en tiempo real
(Contraste inverso, control gamma)

Display: histograma en tiempo real

Procesamiento de imagen para guardar imagen
(Contraste inverso, control gamma, suavización, mejora del borde, etc.)

Ahorro de imagen Tamaño de la imagen
(640¿¿ qué?480 píxeles, 1280 ´960 píxeles, 25601920 píxeles, 5120¿¿ qué?3840 píxeles)

Formato de archivo de imagen: BMP, TIFF, JPEG

Imprimir la imagen Función de impresión de diseño libre en estándar

Gestión de la imagen guardada

Administrador de datos SEM (base de datos de imagen) en estándar
(Gestión de datos, pantalla de miniatura, varias funciones de procesamiento de imágenes)

Otras funciones Blaqueo de haz cuando una imagen está congelada.

Rotación: Raster

: Compensación de enfoque dinámico / inclinación

Visualización de datos (número de imagen, aceleración de voltaje, ampliación, marcador de micrón, unidad, WD, fecha, hora, presión, detector)
Visualización de datos seleccionable entre con y sin imagen

Entrada de datos[Figuras (círculo, rectangular, flecha, línea de medición), caracteres] 2.

Función de medición fácil (distancia entre 2 puntos y líneas de medición con flecha)

Guía de mantenimiento de animación 3D

Transferencia de imágenes a Quartz Imaging PCI

Función de modo de rayos X : Terminales de señal de entrada para el medidor de velocidad de rayos X (0 - +10V) y el mapeo (TTL)

Modo de escaneo (análisis de línea, análisis de puntos, análisis de concentración media)

Interfaz:DBC (opción)

Puerto de conexión para equipos externos

Interfaz: USB

Interfaz de red (Ethernet), configuración es opcional.

Señal VTR: NTSC solo señal en blanco y negro (BNC), una imagen en modo de visualización estándar solo.

(6) Dispositivo de seguridad

: Protegido contra fallo de energía, corriente de fuga y fallo de vacío.

(7) Dimensión y peso