Detección rápida de películas y superficies del elipsometro espectral de referencia

Accurion RSEElipsometro de referencia espectral

Elipsometro de referencia espectral (rse), diseñado para el mapeo de espesor de alta velocidad en el control de calidad. Puede medir con precisión entre 0,1 nm y 10 & micro; Espesor de m. Se registran 200 espectros completos por segundo, se puede estudiar una región de 100 mmx 100 mm en 12 minutos y se obtienen 67.000 espectros simultáneamente.

El RSE es un tipo especial de elipsometro que realiza un análisis elipsométrico de la muestra medida comparando la muestra de referencia con la muestra medida y midiendo las diferencias entre ellas. No hay ningún componente óptico que requiera rotación o modulación durante la medición, y se pueden obtener datos completos de Elipsometría espectral de alta resolución en una sola medición. Por lo general, se pueden recoger 200 datos elípticos espectrales por segundo. El mapa de distribución del espesor de la película de una gran área de muestra se puede medir en minutos equipado con una mesa automática de muestra bidimensional X / y sincronizada. Dado que el sistema de compensación de referencia sigue siendo el principio del elipsometro, es necesario adaptar los datos de medición al modelo óptico para obtener parámetros ópticos, como el índice de refracción y el espesor de la película. Con el fin de lograr una alta velocidad de procesamiento de datos, se realiza el ajuste de la tabla de búsqueda. Antes de la medición se calculará una tabla de búsqueda. A continuación, los datos de medición se pueden ajustar en tiempo real y a alta resolución.

Funciones principales:

• Medición de Elipsometría del espectro de referencia "único"

• 200 datos elípticos espectrales completos por segundo

• Procesamiento de datos en tiempo real para evaluar el espesor de la película

• Tamaño del punto: 50 x 100 um (ángulo de incidencia = 60 °) punto de luz

• Rango de medición del espesor de la película: < 1 nm a 10 um

• Rango espectral: 450 - 900 nm

Aplicaciones:

• Detección de obleas

• Detección de contaminantes

• Espesor de la superpelícula y la capa intermedia

• Una fina capa sobre un sustrato transparente

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