Analizador de ozono de proceso especial para equipos de limpieza en seco de semiconductores

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Descripción general

El equipo de limpieza en seco de semiconductores del analizador de ozono de proceso es un módulo de detección de gas para medir la alta concentración de ozono, que se utiliza para detectar la concentración de ozono gaseoso en el proceso industrial. Basado en el diseño del principio de absorción de luz ultravioleta, se utilizan diferentes tamaños de la fuerza de absorción ultravioleta específica del gas de ozono para lograr el propósito de la detección de la concentración de ozono, y se adopta la estructura de la Cámara de detección resistente al impacto de alta presión y el diseño de control de temperatura constante, que es preciso y confiable.

Detalles del producto

Analizador de ozono de proceso especial para equipos de limpieza en seco de semiconductoresEs un módulo de detección de gas para medir la alta concentración de ozono, que se utiliza para detectar la concentración de ozono gaseoso en procesos industriales. Basado en el diseño del principio de absorción de luz ultravioleta, se utilizan diferentes tamaños de la fuerza de absorción ultravioleta específica del gas de ozono para lograr el propósito de la detección de la concentración de ozono, y se adopta la estructura de la Cámara de detección resistente al impacto de alta presión y el diseño de control de temperatura constante, que es preciso y confiable.

Área de aplicación

Este instrumento se utiliza principalmente para medir la concentración de ozono gaseoso producido en la fabricación de obleas semiconductoras, el tratamiento del agua y la investigación del ozono, y el rango de medición puede alcanzar.0-400 mg/L.

Producto especialpunto
①Alta estabilidad;

②Adoptar un sistema de control automático;

③Diseño de materiales de contacto de alta pureza;

④Temperatura, presión、Fuente de luzTiempo realcompensaciónLos datos son estables y precisos en diferentes entornos; 过程臭氧分析仪半导体干法清洗设备专用

⑤El diseño en línea recta de la carretera de aire hace que la instalación del producto sea más conveniente;

⑤El anillo de sellado está hecho de perfluoruro, que es más resistente a la corrosión por ozono.

Analizador de ozono de proceso especial para equipos de limpieza en seco de semiconductorestecnologíaparámetro
cantidad Cheng:0 -400 mg / L
esencia grado:1% F.S.
pesado Reanudaciónsexo:1% F.S.

Cero Flotar Mover:1% f.s / mes
Tiempo de respuesta:2 segundos al 95%

Flujo de gas:0,5-25L/min

Rango de presión:0-115psi
Salida analógica:0-5V

Comunicación en serie:RS485， Tasa de Baud 9.600 BP

Entrada de energía:15 V

Recoger 口:Conector de acero inoxidable 316L 1 / 4vcr

Tiempo de calentamiento:15 minutos

Temperatura de funcionamiento:5～45℃

Temperatura estándar:0℃
Regla Pulgada:170*55* 134.9mm (mm)
pesado Cantidad:1.1k

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