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Nuevo campo Schottky SEM su7000
- se pueden obtener diversas informaciones sobre las muestras para lograr un análisis de alto rendimiento -
El campo Schottky emite el microscopio electrónico de escaneo su7000, que acorta el tiempo para obtener una variedad de información de la muestra recogiendo una variedad de señales, y realmente realiza la observación y análisis de alto rendimiento.

Mapa de apariencia del su7000
El microscopio electrónico de barrido (sem) puede obtener todo tipo de información, desde la microestructura hasta la composición, detectando señales como electrones secundarios, electrones de dispersión de espalda y rayos X estimulados por muestras, por lo que es ampliamente utilizado en nanotecnología, semiconductores, dispositivos electrónicos, biología, materiales y muchos otros campos. Con la expansión continua del alcance de la aplicación de sem, se plantean nuevas necesidades para acortar el tiempo de observación y la adquisición rápida y eficiente de señales.
El su7000 utiliza un detector de nuevo diseño, lo que mejora en gran medida la capacidad de detección y separación de señales electrónicas secundarias y señales electrónicas de dispersión posterior. Anteriormente teníamos que ajustar la distancia entre la muestra y la lente en función de las señales obtenidas (distancia de trabajo / en adelante, wd) para establecer las condiciones de observación y análisis más adecuadas, mientras que el su7000 puede recibir varias señales de manera más eficiente sin cambiar WD a través del almacén de muestras recién desarrollado y el sistema de detectores, lo que reduce el tiempo de observación y análisis de la muestra y mejora la eficiencia de la prueba.
Además, el su7000 también está equipado con una interfaz de visualización de seis canales simultáneos (los modelos anteriores solo pueden mostrar cuatro canales al mismo tiempo), actualizando aún más el sistema de control sem, mejorando considerablemente la velocidad de adquisición de señales, logrando así una observación de alto rendimiento de las muestras.
También está equipado con un gran almacén de muestras estándar, con una interfaz adicional de accesorios, que se puede aplicar a la observación y análisis de varias muestras.
Hitachi High - Tech presentará este su7000 en "microscopy & microanalisis" del 5 de agosto al 9 de agosto (jueves) en maryland, Estados unidos, y "jasis 2018" del 5 de septiembre al viernes 7 de septiembre en el Shogun Exhibition Center (chiba city, Chiba county), y se espera que las ventas globales alcancen las 150 unidades al año.
La División de sistemas científicos de alta tecnología de Hitachi tiene como objetivo estratégico a medio plazo convertirse en el número uno del mundo en la industria de microscopía electrónica en 2020. en el futuro, seguirá haciendo todo lo posible para promover la investigación y el desarrollo de productos y la comercialización, y se esforzará por hacer mayores contribuciones a la industria manufacturera mundial. Como empresa avanzada y de vanguardia, con el objetivo de convertirse en una empresa de clase mundial que proporcione alta tecnología y soluciones en el futuro, siempre estará en la posición de los clientes y satisfará rápidamente las necesidades de los clientes y del mercado.
[características principales]
1. en las mismas condiciones de wd, se pueden realizar simultáneamente la observación electrónica secundaria, la observación electrónica de dispersión trasera y el análisis de rayos X.
2. hasta 6 canales de detección y visualización simultáneos se pueden lograr
3. también se pueden obtener datos de imagen a un máximo de 10.240 x 7.680 píxeles
4. el mayor número de 18 interfaces de accesorios configurables en el mismo nivel * dispositivos
5. soporte para el modo de bajo vacío de un mínimo de 300pa (opcional)
* Resolución espacial por debajo de 1 nm / 1 Kv
nombre del producto |
del SU7000 |
Fuente electrónica |
ZrO / WCampo calienteLanzamiento (lanzamiento de campo térmico schottky)(...) |
Resolución electrónica secundaria |
0,8 nm(tensión de aceleración15 kV(...) 0,9 nm(tensión de aceleración1 kV(...) |
Tensión de aceleración |
0.1-.30 kV |
Ampliación |
20-.2 millonesVeces |
Haz |
máximo200 nA |
Mesa de muestras |
X/Y/Z: 135 x 100 x 40()mm (mm)(...) |
Concepto clave
Rendimiento de imágenes
Mejora de la adquisición de información
El sistema de detección avanzado del SU7000 simplifica la adquisición de información estructural, topográfica, composicional, cristalográfica y otros tipos al minimizar los cambios en las condiciones del microscopio, como la distancia de trabajo o la aceleración del voltaje.

Especimen: Varas de oro recubiertas orgánicamente
Especimen cortesía de: Sr. Smart y Sra. Je Departamento de Química,
Universidad Vassar

Adquisición simultánea de imágenes para información microestructural superficial (UD), recubrimiento superficial (MD) e información topográfica general (LD). Voltaje de aceleración: 1 kV
Interfaz gráfica de usuario intuitiva
Visualización de señal mejorada
Diseño de pantalla altamente flexible
El software es capaz de mostrar 1, 2 o 4 señales incluyendo el alcance de la cámara o SEM MAP en un solo monitor.
Además, el panel de operación se puede personalizar para mostrar submenús en cualquier lugar de la pantalla.

Monitor doble
El primer monitor puede usarse como una pantalla de imagen dedicada mientras que el segundo monitor se utiliza para el funcionamiento.
Se muestran cinco imágenes del detector (UD, LD, UVD, MD y PD-BSED) y SEM MAP de inclusiones no metálicas en una muestra de acero (izquierda).
La pantalla muestra el menú del panel de operación y la ventana de imagen en miniatura en una pantalla (derecha).
La configuración de doble monitor admite un aumento de la productividad con


Observación y análisis expandibles
Cámara de muestras grande y escenario grande
La cámara de muestras puede acomodar una muestra alta de φ 200 mm o 80 mm de altura y 18 puertos accesorios. La etapa grande viaja 135 mm (X) x 100 mm (Y) y puede aceptar hasta 2 kg de muestra.(*)Un espécimen grande o un tipo variable de subetapas pueden montarse fácilmente en la puerta del escenario grande de apertura frontal.

vista externa de la cámara de muestras con 18 accesorios por

Vista externa del escenario. Rango móvil XY: 135 × 100 mm
Navegación de cámara(*)

Izquierda: Imagen de la muestra capturada por la cámara equipada dentro de la cámara.
Derecha: La imagen de la cámara se transfiere a la pantalla SEM MAP para la navegación.
La característica de navegación de la cámara correlaciona una imagen óptica con el área de observación objetivo.
La cámara instalada en la cámara de muestras captura la imagen de la muestra en el memento de la introducción de la muestra. La imagen se transfiere a la pantalla SEM MAP para una interfaz de navegación dirigida gráficamente.
La navegación de la cámara admite un máximo de muestras de φ 100 mm.
Sistema de detección que permite la observación dinámica
El SU7000 soporta la observación en diversas condiciones ambientales. Una variedad de detectores(*)tales como UVD y MD son seleccionables además del PD-BSED para la observación en condiciones de bajo vacío.

Selección del detector en condiciones de bajo vacío
Especimen: Fibra con óxido metálico
Izquierda: imagen MD (Electrón retrodisperso)
Derecha: UVD (imagen SE)
Se observan respectivamente la dispersión de óxido y el estado de formación de capas de fibra.

Mejora de la velocidad de respuesta PD-BSED
Izquierda: Respuesta PD-BSED tradicional a la velocidad de escaneo de 30 ms x 64 fotogramas
Derecha: imagen SU7000 PD-BSED que demuestra una mejor respuesta y calidad de imagen para ampliar la capacidad de observación in situ
Especificaciones
| Resolución de imagen | Resolución SE | 0.8 nm@15 KV | |
|---|---|---|---|
| 0.9 nm@1 KV | |||
| Magnificación | 20 a 2.000.000 x | ||
| óptica electrónica | Emisor | Emisor ZrO/W Schottky | |
| Aceleración de Voltaje | 0,1 ~ 30 kV (paso de 0,01 kV) | ||
| Corriente de la sonda | Máx. 200 nA | ||
| Detectores | Detectores estándar | UD (detector superior) | |
| MD (Detector Medio) | |||
| LD (detector inferior) | |||
| Detectores opcionales | PD-BSED (tipo semiconductor) | ||
| UVD (detector de presión ultravariable) | |||
| Modo de presión variable (VP) (opción) | Rango de presión | De 5 a 300 Pa | |
| Detectores disponibles en modo VP | PD-BSED, UVD, UD, MD, LD | ||
| Etapa de la muestra | Control de etapa | Motor de 5 ejes | |
| Rango móvil | X | De 0 a 135 mm | |
| Y | de 0 a 100 mm | ||
| Z | 1,5 a 40 mm | ||
| El T | - 5 a 70 grados | ||
| R | 360 ° | ||
| Cámara de Especimen | Tamaño de la muestra | Max. φ200 mm, Max. 80 mm Altura | |
| Monitor (opcional) | LCD de 23 pulgadas (1.920 × 1.080), soporta la operación de monitores duales | ||
| Modo de visualización de imagen | Modo de pantalla grande | 1.280×960 píxeles | |
| Modo de visualización de una sola imagen | 800×600 píxeles | ||
| Modo de visualización de imagen doble | 800×600 píxeles、1.280×960 píxeles con monitores dobles | ||
| Modo de visualización de imagen Quad | 640×480 píxeles | ||
| Modo de visualización de imagen hexagonal con monitores duales | 640×480 píxeles con monitores dobles | ||
| Ahorro de datos de imagen | Tamaño del píxel | 640 × 480, 1280 × 960, 2560 × 1920, 5120 × 3840, 10240 × 7680 | |
| Accesorios opcionales | Espectrómetro de rayos X disperso de energía (EDX) | ||
| Espectrómetro de rayos X disperso de longitud de onda (WDX) | |||
| Detector de difracción retrodispersa de electrones (EBSD) | |||
| Sistema de Catodoluminescencia (CL) | |||
| Sistema de transferencia criogénica | |||
| Compatible con varios tipos de subetapas | |||
Diagrama de instalación
