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Nuevo campo Schottky SEM su7000

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El nuevo tipo de microscopía electrónica de escaneo de emisiones de campo Schottky su7000 - puede obtener todo tipo de información de la muestra, realizar análisis de alto rendimiento - microscopía electrónica de escaneo de emisiones de campo Schottky su7000, que acorta el tiempo para obtener todo tipo de información de la muestra a través de la adquisición de múltiples señales, y realmente realiza qualcomm...

Detalles del producto

Nuevo campo Schottky SEM su7000
- se pueden obtener diversas informaciones sobre las muestras para lograr un análisis de alto rendimiento -


El campo Schottky emite el microscopio electrónico de escaneo su7000, que acorta el tiempo para obtener una variedad de información de la muestra recogiendo una variedad de señales, y realmente realiza la observación y análisis de alto rendimiento.

新型肖特基场发射扫描电镜SU7000
Mapa de apariencia del su7000


El microscopio electrónico de barrido (sem) puede obtener todo tipo de información, desde la microestructura hasta la composición, detectando señales como electrones secundarios, electrones de dispersión de espalda y rayos X estimulados por muestras, por lo que es ampliamente utilizado en nanotecnología, semiconductores, dispositivos electrónicos, biología, materiales y muchos otros campos. Con la expansión continua del alcance de la aplicación de sem, se plantean nuevas necesidades para acortar el tiempo de observación y la adquisición rápida y eficiente de señales.
El su7000 utiliza un detector de nuevo diseño, lo que mejora en gran medida la capacidad de detección y separación de señales electrónicas secundarias y señales electrónicas de dispersión posterior. Anteriormente teníamos que ajustar la distancia entre la muestra y la lente en función de las señales obtenidas (distancia de trabajo / en adelante, wd) para establecer las condiciones de observación y análisis más adecuadas, mientras que el su7000 puede recibir varias señales de manera más eficiente sin cambiar WD a través del almacén de muestras recién desarrollado y el sistema de detectores, lo que reduce el tiempo de observación y análisis de la muestra y mejora la eficiencia de la prueba.
Además, el su7000 también está equipado con una interfaz de visualización de seis canales simultáneos (los modelos anteriores solo pueden mostrar cuatro canales al mismo tiempo), actualizando aún más el sistema de control sem, mejorando considerablemente la velocidad de adquisición de señales, logrando así una observación de alto rendimiento de las muestras.
También está equipado con un gran almacén de muestras estándar, con una interfaz adicional de accesorios, que se puede aplicar a la observación y análisis de varias muestras.
Hitachi High - Tech presentará este su7000 en "microscopy & microanalisis" del 5 de agosto al 9 de agosto (jueves) en maryland, Estados unidos, y "jasis 2018" del 5 de septiembre al viernes 7 de septiembre en el Shogun Exhibition Center (chiba city, Chiba county), y se espera que las ventas globales alcancen las 150 unidades al año.
La División de sistemas científicos de alta tecnología de Hitachi tiene como objetivo estratégico a medio plazo convertirse en el número uno del mundo en la industria de microscopía electrónica en 2020. en el futuro, seguirá haciendo todo lo posible para promover la investigación y el desarrollo de productos y la comercialización, y se esforzará por hacer mayores contribuciones a la industria manufacturera mundial. Como empresa avanzada y de vanguardia, con el objetivo de convertirse en una empresa de clase mundial que proporcione alta tecnología y soluciones en el futuro, siempre estará en la posición de los clientes y satisfará rápidamente las necesidades de los clientes y del mercado.

[características principales]
1. en las mismas condiciones de wd, se pueden realizar simultáneamente la observación electrónica secundaria, la observación electrónica de dispersión trasera y el análisis de rayos X.
2. hasta 6 canales de detección y visualización simultáneos se pueden lograr
3. también se pueden obtener datos de imagen a un máximo de 10.240 x 7.680 píxeles
4. el mayor número de 18 interfaces de accesorios configurables en el mismo nivel * dispositivos
5. soporte para el modo de bajo vacío de un mínimo de 300pa (opcional)
* Resolución espacial por debajo de 1 nm / 1 Kv

nombre del producto

del SU7000

Fuente electrónica

ZrO / WCampo calienteLanzamiento (lanzamiento de campo térmico schottky)(...)

Resolución electrónica secundaria

0,8 nm(tensión de aceleración15 kV(...)

0,9 nm(tensión de aceleración1 kV(...)

Tensión de aceleración

0.1-.30 kV

Ampliación

20-.2 millonesVeces

Haz

máximo200 nA

Mesa de muestras

X/Y/Z: 135 x 100 x 40()mm (mm)(...)


Concepto clave

  1. Capacidad de imagen versátil
    El SU7000 sobresale en la adquisición rápida de múltiples señales para abordar las necesidades de SEM expansivas, desde la imagen de un amplio campo de visión hasta la visualización de estructuras sub-nanómetro y todo lo demás.
    La incorporación de óptica electrónica y sistemas de detección de nuevo diseño permite la adquisición simultánea eficiente de múltiples electrones secundarios y señales electrónicas retrodispersas.
  2. Imágenes multicanal
    El número de detectores montados en el SEM es cada vez mayor, junto con la necesidad de mostrar toda la información recopilada de manera eficaz.
    El SU7000 es capaz de procesar, mostrar y ahorrar hasta 6 señales simultáneamente para maximizar la adquisición de información.
  3. Amplia variedad de técnicas de observación
    La cámara de muestras y el sistema de vacío están optimizados para:
    ・ Tamaño de la muestra grande
    ・ Manipulación de muestras en varios ejes
    ・ Condiciones de presión variables
    ・ Condiciones criogénicas
    ・ Observación in situ de calefacción y refrigeración
  4. Microanálisis
    La pistola de electrones está equipada con un emisor Schottky que proporciona hasta 200 nA de corriente de haz para acomodar diversas aplicaciones de microanálisis.
    La cámara de muestras y el diseño de puerto están diseñados para incorporar múltiples opciones analíticas, incluyendo EDX, WDX, EBSD, catodoluminescencia y más.
    El SU7000 con la combinación de numerosos accesorios analíticos unifica técnicas multidisciplinarias en una única plataforma.

Rendimiento de imágenes

Mejora de la adquisición de información

El sistema de detección avanzado del SU7000 simplifica la adquisición de información estructural, topográfica, composicional, cristalográfica y otros tipos al minimizar los cambios en las condiciones del microscopio, como la distancia de trabajo o la aceleración del voltaje.

新型肖特基场发射扫描电镜SU7000

Imágenes de señales múltiples de escaneo único

Especimen: Varas de oro recubiertas orgánicamente

Especimen cortesía de: Sr. Smart y Sra. Je Departamento de Química,
Universidad Vassar





新型肖特基场发射扫描电镜SU7000

Adquisición simultánea de imágenes para información microestructural superficial (UD), recubrimiento superficial (MD) e información topográfica general (LD). Voltaje de aceleración: 1 kV

Interfaz gráfica de usuario intuitiva

Visualización de señal mejorada

  • Modos de visualización personalizables.
  • Configuraciones de monitor único y doble.
  • Visualización simultánea de imágenes de hasta 4 canales (único) y 6 canales (doble).
  • Ámbito de la cámara y SEM MAP para la navegación óptica del escenario.

Diseño de pantalla altamente flexible

El software es capaz de mostrar 1, 2 o 4 señales incluyendo el alcance de la cámara o SEM MAP en un solo monitor.
Además, el panel de operación se puede personalizar para mostrar submenús en cualquier lugar de la pantalla.

新型肖特基场发射扫描电镜SU7000

Monitor doble

El primer monitor puede usarse como una pantalla de imagen dedicada mientras que el segundo monitor se utiliza para el funcionamiento.
Se muestran cinco imágenes del detector (UD, LD, UVD, MD y PD-BSED) y SEM MAP de inclusiones no metálicas en una muestra de acero (izquierda).
La pantalla muestra el menú del panel de operación y la ventana de imagen en miniatura en una pantalla (derecha).
La configuración de doble monitor admite un aumento de la productividad con

新型肖特基场发射扫描电镜SU7000新型肖特基场发射扫描电镜SU7000

Observación y análisis expandibles

Cámara de muestras grande y escenario grande

La cámara de muestras puede acomodar una muestra alta de φ 200 mm o 80 mm de altura y 18 puertos accesorios. La etapa grande viaja 135 mm (X) x 100 mm (Y) y puede aceptar hasta 2 kg de muestra.(*)Un espécimen grande o un tipo variable de subetapas pueden montarse fácilmente en la puerta del escenario grande de apertura frontal.

新型肖特基场发射扫描电镜SU7000
vista externa de la cámara de muestras con 18 accesorios por

新型肖特基场发射扫描电镜SU7000

Vista externa del escenario. Rango móvil XY: 135 × 100 mm

(*)a 0° de inclinación

Navegación de cámara(*)

新型肖特基场发射扫描电镜SU7000
Izquierda: Imagen de la muestra capturada por la cámara equipada dentro de la cámara.
Derecha: La imagen de la cámara se transfiere a la pantalla SEM MAP para la navegación.

La característica de navegación de la cámara correlaciona una imagen óptica con el área de observación objetivo.
La cámara instalada en la cámara de muestras captura la imagen de la muestra en el memento de la introducción de la muestra. La imagen se transfiere a la pantalla SEM MAP para una interfaz de navegación dirigida gráficamente.
La navegación de la cámara admite un máximo de muestras de φ 100 mm.

(*)
La función de navegación de la cámara es opcional

Sistema de detección que permite la observación dinámica

El SU7000 soporta la observación en diversas condiciones ambientales. Una variedad de detectores(*)tales como UVD y MD son seleccionables además del PD-BSED para la observación en condiciones de bajo vacío.

新型肖特基场发射扫描电镜SU7000

Selección del detector en condiciones de bajo vacío
Especimen: Fibra con óxido metálico
Izquierda: imagen MD (Electrón retrodisperso)
Derecha: UVD (imagen SE)
Se observan respectivamente la dispersión de óxido y el estado de formación de capas de fibra.

新型肖特基场发射扫描电镜SU7000

Mejora de la velocidad de respuesta PD-BSED

Izquierda: Respuesta PD-BSED tradicional a la velocidad de escaneo de 30 ms x 64 fotogramas
Derecha: imagen SU7000 PD-BSED que demuestra una mejor respuesta y calidad de imagen para ampliar la capacidad de observación in situ

Especificaciones

Resolución de imagen Resolución SE 0.8 nm@15 KV
0.9 nm@1 KV
Magnificación 20 a 2.000.000 x
óptica electrónica Emisor Emisor ZrO/W Schottky
Aceleración de Voltaje 0,1 ~ 30 kV (paso de 0,01 kV)
Corriente de la sonda Máx. 200 nA
Detectores Detectores estándar UD (detector superior)
MD (Detector Medio)
LD (detector inferior)
Detectores opcionales PD-BSED (tipo semiconductor)
UVD (detector de presión ultravariable)
Modo de presión variable (VP) (opción) Rango de presión De 5 a 300 Pa
Detectores disponibles en modo VP PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
Etapa de la muestra Control de etapa Motor de 5 ejes
Rango móvil X De 0 a 135 mm
Y de 0 a 100 mm
Z 1,5 a 40 mm
El T - 5 a 70 grados
R 360 °
Cámara de Especimen Tamaño de la muestra Max. φ200 mm, Max. 80 mm Altura
Monitor (opcional) LCD de 23 pulgadas (1.920 × 1.080), soporta la operación de monitores duales
Modo de visualización de imagen Modo de pantalla grande 1.280×960 píxeles
Modo de visualización de una sola imagen 800×600 píxeles
Modo de visualización de imagen doble 800×600 píxeles、1.280×960 píxeles con monitores dobles
Modo de visualización de imagen Quad 640×480 píxeles
Modo de visualización de imagen hexagonal con monitores duales 640×480 píxeles con monitores dobles
Ahorro de datos de imagen Tamaño del píxel 640 × 480, 1280 × 960, 2560 × 1920, 5120 × 3840, 10240 × 7680
Accesorios opcionales Espectrómetro de rayos X disperso de energía (EDX)
Espectrómetro de rayos X disperso de longitud de onda (WDX)
Detector de difracción retrodispersa de electrones (EBSD)
Sistema de Catodoluminescencia (CL)
Sistema de transferencia criogénica
Compatible con varios tipos de subetapas

Diagrama de instalación


新型肖特基场发射扫描电镜SU7000