Unidad de cambio de presión negativa

[no se necesita una válvula de destrucción al vacío]
Al separarse el vacío sin presión positiva, no es necesario tomar medidas para evitar que se sople el chip muy pequeño.
No es necesario ajustar engorrosamente la presión de falla, el flujo y el tiempo.
Sin el uso de la válvula de destrucción al vacío, se logra una simplificación fina.

[minimización del espacio ocupado]
En comparación con las unidades anteriores de destrucción de cinturones, el área de instalación se redujo en un 44% y el peso se redujo en un 53%, lo que es más adecuado para la miniaturización de los dispositivos de fabricación.
Se puede instalar incluso en espacios muy pequeños, y el dispositivo está diseñado para tener un mayor grado de libertad.
Al ser ligero, es fácil de instalar en la parte móvil del dispositivo.

[se puede equipar con sensores de presión]
La unidad está equipada con sensores de presión de vacío, que son más pequeños en apariencia.
La detección de presión negativa también ahorra espacio.
El sensor de presión se fija con un perno en forma de u para mejorar la mantenibilidad.

[se puede instalar un filtro de vacío]
No es necesario instalar filtros durante el proceso de tubería.
Los filtros de vacío se reemplazan por inserciones rápidas.