Microelectrónica y nanotecnología

Microelectrónica y nanotecnología

Los sistemas electromecánicos en miniatura (microelectromecánicos) se utilizan hoy en día en muchos campos de aplicación, incluidos sensores de presión y aceleración, dispositivos de visualización de lentes microcristalinas y bombas de fluido en miniatura. Los Dispositivos microelectrónicos aprovechan al máximo la tecnología de fabricación utilizada en la industria de circuitos integrados para crear componentes mecánicos como engranajes, diafragmas y vigas de unión. La medición precisa de todos estos componentes es crucial para cumplir con los requisitos de producción en masa de Dispositivos microelectrónicos de bajo costo y alta calidad.

Medición

Rugosidad
Al medir con precisión la rugosidad dentro de los dispositivos microelectrónicos, se puede controlar la interacción de la superficie, ya sea que estas interacciones sean entre sólidos y sólidos en el sistema de microengranajes o entre sólidos y líquidos en la bomba de microfluido.

Altura del escalón
El monitoreo de la altura de los escalones de los Dispositivos microelectrónicos es un indicador importante de rendimiento. La altura del escalón, junto con la información del tamaño transversal, puede proporcionar una aproximación de masa efectiva, que puede afectar la frecuencia de oscilación básica de un solo elemento en el dispositivo.

Tamaño transversal
Las dimensiones transversales son particularmente importantes a la hora de calificar los microengranajes y los sistemas fluidos. La medición precisa del volumen y la superficie y dimensiones importantes como el ancho de la viga ayuda a controlar el rendimiento del dispositivo final.