Fotolitografía de laboratorio

Parámetros de la fotolitografía de laboratorio: 1. área de exposición: 160mm * 160mm. 2. resolución de exposición: exposición de contacto 0,8um - 1um. 3. precisión de alineación: /; 1 - 1,5 um. 4. intensidad de la fuente de luz: 35 MW / cm2. 5. fuente de luz ultravioleta: módulo LED importado.

Parámetros del producto de la fotolitografía de laboratorio:

1. superficie expuesta: 160 mm * 160 mm

2. resolución de exposición: exposición de contacto 0,8 Um - 1 um

3. precisión de alineación: + 1 - 1,5 um

4. intensidad de la fuente de luz: 35 MW / cm2

5. fuente de luz ultravioleta: módulo LED importado

6. longitud de onda del Centro de exposición: 365 nm

7. vida útil de la fuente de luz: 10000 horas, paralelismo de la fuente de luz: ≤ 2 °

8. resolución de exposición: exposición de contacto 0,8 Um - 1 um

9. uniformidad de la iluminación: ≤ 3%

10. configuración de la exposición: cronometraje

11. modo de exposición ejecutable: contacto al vacío, contacto duro, contacto a presión, acercamiento

12. método de configuración de la brecha: configuración digital de la brecha de exposición 0 - 1200m

13. ajustable, separación automática y eliminación de huecos

14. rango de movimiento relativo de la muestra y la máscara: x: ± 5 mm, y: ± 5 mm, 0 = ± 6 °

15. método de Nivelación de la máscara: nivelación automática de la flotación de la bola

16. tamaño de la máscara soportable: 3 'x3', 4 'x4', 5 'x5', 7 'x7' cada uno

17. soporte estándar: 2 pulgadas, 3 pulgadas, 4 pulgadas, 6 pulgadas

18. los accesorios estándar son compatibles con el grosor de la muestra: 0,1 - 5 mm, otros tamaños se pueden personalizar

19. sistema de alineación: óptica + cc, múltiplo microscópico: ampliación: 150 veces - 720 veces ajustable

20. rango de distancia ajustable de la lente doble: 30 mm - 120 mm