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Sistema CVD de horno tubular de zona de temperatura única ktl140

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Descripción general

Descripción del producto: el sistema CVD está compuesto por un sistema de suministro de gas + horno tubular + Sistema de bombeo, la temperatura máxima puede alcanzar los 1.200 grados, 1.400 grados, 1.600 grados, 1.700 grados, el rango de calentamiento puede ser una zona de temperatura única, una zona de temperatura doble, una zona de temperatura tres, etc., el vacío límite puede alcanzar los 10 - 3 pa, el sistema de suministro de gas puede ser un medidor de flujo de protones o un medidor de flotación, y el número de rutas de mezcla de gas puede ser una mezcla de 2, 3, 4 y 5 rutas.

Detalles del producto

El sistema CVD está compuesto por un sistema de suministro de gas + horno tubular + Sistema de bombeo, la temperatura máxima puede alcanzar los 1.200 grados, 1.400 grados, 1.600 grados, 1.700 grados, el rango de calentamiento puede ser una zona de temperatura única, una zona de temperatura doble, una zona de temperatura tres, etc., el vacío límite puede alcanzar los 10 - 3 pa, el sistema de suministro de gas puede ser un medidor de flujo de protones o un medidor de flujo flotante, y el número de rutas de mezcla de gas puede ser una mezcla de dos, tres, cuatro y cinco rutas.

El sistema CVD de zona de temperatura única KTL - CVD - 1400 está compuesto por un sistema de suministro de gas de tres vías + horno tubular ktl140 + Sistema de vacío.


(1) el grosor del extremo caliente D1 de la barra de silicio y molibdeno es de 7 mm, el fabricante General adopta 6 mm, el extremo de calentamiento es grueso, no es fácil de doblar, la carga superficial de la barra es baja y la vida útil es larga.

2) se adopta la tecnología de flexión térmica, la resistencia es uniforme y la vida útil es larga.

(3) la longitud del extremo frío de Lu es de 210mm, la estufa 400x300x300 es de 260, el fabricante General adopta 180mm, y la temperatura superior del extremo frío es baja.

(4) la película amorfas oxidada en la superficie de la barra de silicio y molibdeno es densa y puede proteger mejor la barra de silicio y molibdeno.

Cuando el circuito está sobrecorriente o con fugas eléctricas, la reunión vacía se desconecta automáticamente.

El horno de tubo de atmósferaSí.Equipado con interfaz de comunicación y software, puede controlar directamente los parámetros del horno a través de la computadora y observar desde la computadora los valores de temperatura PV y SV y el funcionamiento del instrumento en el horno. la computadora dibujará la curva de calentamiento real del horno en tiempo real y puede guardar los datos de temperatura en cada momento, que se pueden llamar en cualquier momento.



(1) horno de curado de fibra policristalina de alúmina de alta calidad y alta pureza formado por filtro de succión al vacío.
(2) tomar forma con tecnología japonesa.
(3) el material del horno tiene una baja capacidad de calor y un bajo coeficiente de conducción térmica, por lo que tiene menos disipación de calor, buen aislamiento térmico y alta reflectividad. El campo de temperatura es equilibrado.
(4) el alambre de alúmina del horno es fino y largo, tiene una alta resistencia a la temperatura y una fuerte capacidad de resistencia al calor, aumento y contracción.
(5) la superficie del horno es Lisa y no es fácil perder polvo.

(todos los electrodomésticos importados certificados por ul)