Controlador de flujo de masa de gas de hidrógeno

El medidor de flujo / controlador de masa de gas de la serie mfc330, cuya estructura incluye sensor de flujo de columna capilar, sistema de desviación de derivación, válvula proporcional de alta precisión y sistema de control.

Después de que el gas medido entra, primero pasa por el sensor y el sistema de desviación de derivación. El sensor mide el flujo de gas en tiempo real y la respuesta dinámica de la válvula proporcional de alta precisión ajusta rápidamente el flujo de gas al valor establecido. Estructura de circuito cerrado para medir y ajustar el flujo, incluso si la temperatura ambiente cambia o la presión de entrada y salida fluctúa, el mfc330 todavía puede mantener un control de flujo estable.

Características del producto

Medición / control preciso del flujo de masa

Respuesta rápida, alta repetibilidad

No afectado por la temperatura y la presión

Gran rango de diferencia de presión de trabajo: 0 - 1mpa

Pérdida de baja tensión opcional

Válvula proporcional de metal completo opcional

Pantalla integrada opcional

Soluciones económicas y efectivas

Parámetros principales

El Medio requiere gas limpio y seco

Tipo de gas 98 + gas opcional

Rango 0 - 2, 10, 20, 50100300500 SCCM

0-1, 2, 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500slpm

Rango de medición 0,5% F.S. (1: 200)

Rango de control 1% - 100% fs. (1: 100)

Precisión ± 1% F.S.

Precisión de repetición ± 0,2% F.S.

Lineal ± 0,2% F.S.

Tiempo de respuesta de control inferior a 3 segundos

Tiempo de calentamiento 5 min (t95), 30 min

La válvula Está cerrada.