Fuente de iones Hall

Fuente de iones HallEh2000 eh30001978 el Dr. Kaufman fundó Kaufman & robinson, inc, en los Estados unidos, para desarrollar y producir fuentes de iones Kaufman yFuente de iones HallDespués de más de 40 años de precipitación y desarrollo, la fuente de iones Kaufman en los Estados Unidos ha sido muy reconocida por los clientes. Las fuentes de iones se utilizan ampliamente en el campo de la limpieza de iones, el grabado de iones, el recubrimiento Auxiliar y la deposición por pulverización de iones.

Fuente de iones HallParámetros técnicos eh2000 eh3000:

sangreFuente de iones HalleH sin rejillaserie

eHserieFuente de iones HallEstructura compacta,Gran haz, baja energía y gran área de irradiación,Puede procesar eficazmente películas y superficies con nanoprecisión.,Proporcionar para el proceso tecnológicoRecubrimiento auxiliar, pre - limpieza y otras funciones, modelos ricos para satisfacer la investigación científica, la industria y otras aplicaciones, con

Las siguientes características:

Red sin rejilla

Alta corriente y baja energía

Haz divergente> 45grado

El módulo de ánodo se puede reemplazar rápidamente.

Se pueden elegir varios neutralizadores

Estados UnidossangreFuente de iones KaufmanKDC en rejillaserie

Estados UnidossangreFuente de iones Kaufman de KaufmanKDCLa serie contiene una variedad de fuentes de iones de diferentes tamaños para diversas aplicaciones. Fuente de iones KaufmanKDCProporcionar un conjunto completo de soluciones，Contiene la fuente de iones Kaufman,Neutralizador electrónico,El proveedor de energía, etc., se puede integrar directamente en varios equipos de vacío.,Por ejemplo, investigación y desarrollo en pequeña escala en laboratorios,Máquina de recubrimiento, bloqueo de carga,Sistema de pulverización,Máquina de recubrimiento de bobinado y recubrimiento lineal.

sangreFuente de iones de radiofrecuenciaRFICP en redserie

Fuente de iones de radiofrecuenciaRFICPSerie, que produce plasma a través de una bobina de radiofrecuencia,La energía y la dirección del haz de iones son controladas por una red de puertas.,Es una herramienta poderosa para fabricar películas de precisión y tratamientos de superficie.,Mejorar efectivamente la densidad, la transmisión de luz, la uniformidad y la adherencia de la película.，Proporcionar apoyo estable para el proceso.

RFICPLa colección ofrece una cartera completa de productos,Contiene fuentes de iones,Proveedor electrónico,Neutralizador,Control de energía, etc.