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Controlador de tráfico japonés horiba Stec e40mk3 / e50mk3
El controlador de flujo japonés horiba Stec e40mk3 / e50mk3 es un producto de producción en masa que logra una reducción completa de costos sin cambiar las características de calidad necesarias del controlador de flujo de masa. Los materiales y las especificaciones de fuga son exactamente los mismos que las series sec - 400 y sec - 500 de los modelos generales de productos. El uso principal es el control del flujo de gas utilizado en el proceso, la producción en masa de acuerdo con el enfoque en la repetibilidad y el tipo y flujo de gas limitado, logrando una reducción sustancial de costos. Es el más adecuado para situaciones de control repetido de flujo fijo y control estable a largo plazo. Y también se aplica al control de flujo simple del Instituto.
Características del controlador de tráfico japonés horiba Stec e40mk3 / e50mk3
1. tiene una amplia gama de usos
2. perseguir ventajas de costos y lograr reducciones de costos
Japón horiba Stec e40mk3
Japón HORIBA STEC E40MK3/E50MK3 Especificaciones del controlador de flujo
| Modelo | Sec (controlador de flujo de masa) | E40 / E40MK3 | E50 / E50MK3 |
| SEF (medidor de flujo de masa) | E40 | E50 | |
| Tipo de gas aplicable * 1 | Gases no corrosivos (el modelo mk3 es adecuado para n2, o2, aire, H2、Ar、He) | ||
| Material de la parte de contacto de gas | Sus316l. caucho fluorado. PTFE、 Acero inoxidable magnético | ||
| Modelo de válvula | Apagado cuando no hay electricidad | ||
| Rango de flujo estándar (n2 correspondiente f.s.) | 10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
| Rango de control de flujo (adecuado para la serie sec) |
Entre 2 y 100% F.S. | ||
| Rango de medición de flujo (adecuado para la serie sef) |
De 0 a 100% de F.S. | ||
| Velocidad de respuesta | Dentro de 1 segundo (t98) | ||
| Precisión del flujo | ±1% F.S. | ||
| Rectitud | ±0,5% F.S. | ||
| Repetitivo | ±0,2% F.S. | ||
| Valor de presión diferencial de trabajo (adecuado para la serie sec) |
10 SCCM ~ 5 SLM: 50 ~ 300 kPa (d) 10〜30 SLM: 100 ~ 300kPa (d) | ||
| Presión de uso (adecuado para la serie sef) |
Por debajo de 300kPa (g) | ||
| Resistencia a la presión | Por debajo de 1 MPa (g) | ||
| Tasa de fuga externa | Menos de 1 × 10 - 8pa · m3 / S (he) | ||
| Temperatura ambiente de uso | 5 a 50 ° c (garantía de precisión: 15 a 35 ° c) | ||
| Señal de configuración de tráfico | 0,1 a 5vdc (resistencia de entrada de más de 1mwh) / 2 a 100% F.S. | ||
| Señal de salida de tráfico | 0 a 5vdc (resistencia mínima de carga 2kome) | ||
| Fuente de alimentación de accionamiento | + 15VDC ± 5% 50mA -15VDC ± 5% 150mA 3VA | + 15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |
| Conector estándar * 2 | Tipo 1 / 4swl | ||