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Controlador de flujo de masa horibastece40mk3 / e50mk3 de Japón

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Descripción general

Controlador de flujo de masa horibastece40mk3 / e50mk3 de Japón

Detalles del producto

Controlador de tráfico japonés horiba Stec e40mk3 / e50mk3
El controlador de flujo japonés horiba Stec e40mk3 / e50mk3 es un producto de producción en masa que logra una reducción completa de costos sin cambiar las características de calidad necesarias del controlador de flujo de masa. Los materiales y las especificaciones de fuga son exactamente los mismos que las series sec - 400 y sec - 500 de los modelos generales de productos. El uso principal es el control del flujo de gas utilizado en el proceso, la producción en masa de acuerdo con el enfoque en la repetibilidad y el tipo y flujo de gas limitado, logrando una reducción sustancial de costos. Es el más adecuado para situaciones de control repetido de flujo fijo y control estable a largo plazo. Y también se aplica al control de flujo simple del Instituto.
Características del controlador de tráfico japonés horiba Stec e40mk3 / e50mk3
1. tiene una amplia gama de usos
2. perseguir ventajas de costos y lograr reducciones de costos

Japón horiba Stec e40mk3


Japón HORIBA STEC E40MK3/E50MK3 Especificaciones del controlador de flujo

Modelo Sec (controlador de flujo de masa) E40 / E40MK3 E50 / E50MK3
SEF (medidor de flujo de masa) E40 E50
Tipo de gas aplicable * 1 Gases no corrosivos (el modelo mk3 es adecuado para n2, o2, aire, H2、Ar、He)
Material de la parte de contacto de gas Sus316l. caucho fluorado. PTFE、 Acero inoxidable magnético
Modelo de válvula Apagado cuando no hay electricidad
Rango de flujo estándar (n2 correspondiente f.s.) 10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM 20/30 SLM
Rango de control de flujo
(adecuado para la serie sec)
Entre 2 y 100% F.S.
Rango de medición de flujo
(adecuado para la serie sef)
De 0 a 100% de F.S.
Velocidad de respuesta Dentro de 1 segundo (t98)
Precisión del flujo ±1% F.S.
Rectitud ±0,5% F.S.
Repetitivo ±0,2% F.S.
Valor de presión diferencial de trabajo
(adecuado para la serie sec)
10 SCCM ~ 5 SLM: 50 ~ 300 kPa (d)  10〜30 SLM: 100 ~ 300kPa (d)
Presión de uso
(adecuado para la serie sef)
Por debajo de 300kPa (g)
Resistencia a la presión Por debajo de 1 MPa (g)
Tasa de fuga externa Menos de 1 × 10 - 8pa · m3 / S (he)
Temperatura ambiente de uso 5 a 50 ° c (garantía de precisión: 15 a 35 ° c)
Señal de configuración de tráfico 0,1 a 5vdc (resistencia de entrada de más de 1mwh) / 2 a 100% F.S.
Señal de salida de tráfico 0 a 5vdc (resistencia mínima de carga 2kome)
Fuente de alimentación de accionamiento + 15VDC ± 5% 50mA -15VDC ± 5% 150mA 3VA + 15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
Conector estándar * 2 Tipo 1 / 4swl