Controlador de flujo de masa digital horibastec - z512mgx de Japón

Resumen
El medidor de flujo de masa es una pieza muy crítica en los equipos de fabricación de semiconductores. Su estabilidad operativa a menudo se convierte en un factor clave para el éxito o el fracaso del proceso de semiconductores.
HORIBA STEC, Como productor de medidores de flujo con una cuota de mercado global de más del 35% * 1, ha proporcionado continuamente productos de alta calidad y multifuncionales a la industria de semiconductores durante mucho tiempo. Ahora, con la nueva tecnología en la mano, horiba Stec está promoviendo un nuevo tipo de controlador de flujo de masa al mundo: la serie z500.
En comparación con los modelos antiguos, la serie z500x ha logrado un nuevo avance y está destinada a cambiar el futuro de la tecnología de control de flujo. Al tiempo que proporciona todas las funciones de control de flujo requeridas por los clientes, se realiza la conversión de gas compuesto y flujo compuesto. Los clientes pueden cambiar fácilmente el tipo de gas del medidor de flujo y el rango de medición * 2 de acuerdo con las necesidades del proceso.
Además, con la innovación tecnológica de los materiales del producto, la serie z500 satisface plenamente los requisitos de diseño de los productos ecológicos RoHS y mejora el valor del producto para los clientes.
El medidor de flujo de la serie z500 de alto rendimiento le traerá más sorpresas. El mundo entero es testigo del nacimiento de este nuevo medidor de flujo de masa que está a punto de cambiar toda la industria de semiconductores.
* 1 se hace referencia al informe de investigación vlsi 's 2007.
* 2 función de gas compuesto y flujo compuesto.
Características
Alta precisión: establecer el valor de flujo de ± 1,0%.
La precisión lineal de FC se compensa con una curva aproximada polinómica, que garantiza una alta precisión de control en cada rango de control. Con el fin de mejorar la precisión de control de varios tipos de gases reales, horiba Stec ha desarrollado un sistema estándar de medición de gases y, sobre la base de un gran número de experimentos, ha recopilado datos de calibración de varios gases de proceso.
Respuesta de alta velocidad
El sec - z500x utiliza el último sistema de "eip modificable" desarrollado para garantizar que los cambios entre dos puntos de flujo establecidos se completen en un segundo, cuando se establecen diferentes flujos, los datos de EIP se ajustarán automáticamente, incluso después de los cambios en el tipo de gas y el rango de flujo, los datos de EIP se pueden optimizar automáticamente para lograr una respuesta de alta velocidad.
Gas compuesto, esquema de flujo compuesto
Los nuevos productos de horiba Stec permiten a los clientes cambiar fácilmente los tipos y flujos de gas en el lugar. Nuestro software de configuración z500 es simple y fácil de usar. Mejor aún, la finalización de estos cambios ni siquiera requiere desmontar el metano del sistema. De esta manera, se puede reducir en gran medida la cantidad de piezas de repuesto de los clientes, ahorrando tiempo y costos.
Mapas relacionados con el producto y otros