Controlador de flujo de masa de alta temperatura horibastec - 8440f8450 de Japón

Resumen
El medidor de flujo de masa es un dispositivo utilizado para medir o controlar el flujo de gas. El flujo se divide generalmente en flujo de volumen y flujo de masa, pero el volumen del gas es vulnerable a la temperatura y presión externas. si se necesita una medición precisa, las condiciones de medición deben cambiarse constantemente para cooperar con el entorno externo cambiante. El flujo de masa, por su parte, utiliza la masa del gas medido, que no se ve afectada por el entorno externo, lo que puede proporcionar detección y control de flujo de alta precisión y tiene un amplio uso en el proceso de fabricación de semiconductores.
Características
Se trata de un controlador de flujo de masa equipado con válvulas piezoeléctricas que se puede utilizar en entornos de alta temperatura.
1. adecuado para altas temperaturas: puede cumplir con 150 ° C para hornear
2. hay modelos de productos en la alineación de productos que pueden satisfacer la temperatura de uso.
3. tipo de ultralimpieza: construcción de acero inoxidable completo en la parte de recogida de gas
4. el control de flujo más adecuado para materiales metálicos orgánicos, materiales de baja presión de vapor y gases corrosivos para MOCVD
Especificaciones

El sec - 8340sl está equipado con un calentador de calefacción principal
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 80 a 100 ℃.

SEC-8340SM Calentador con calefacción
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 100 a 120 ℃.

SEC-8440LSL
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 15 a 35 grados Celsius

SEC-8450LSL
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	10/20 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 15 a 35 grados Celsius

SEC-8455LSL
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	30/50 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 15 a 35 grados Celsius

SEC-8460LSL
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	50/100 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 15 a 35 grados Celsius

SEC-8440LSM
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 35 a 60 ℃.

SEC-8450LSM
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	10/20 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 35 a 60 ℃.

SEC-8455LSM
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	30/50 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 35 a 60 ℃.

SEC-8460LSM
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	50/100 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 35 a 60 ℃.

SEC-8440LSH
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 60 a 80 ℃.

SEC-8450LSH
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	10/20 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 60 a 80 ℃.

SEC-8455LSH
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	30/50 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 60 a 80 ℃.

SEC-8460LSH
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	50/100 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 60 a 80 ℃.

SEC-8440SL
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 80 a 100 ℃.

SEC-8450SL
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	3/5/10 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 80 a 100 ℃.

SEC-8455SL
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	10/20 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 80 a 100 ℃.

SEC-8460SL
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	20/30/50 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 80 a 100 ℃.

SEC-8440SM
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 100 a 120 ℃.

SEC-8450SM
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	3/5/10 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 100 a 120 ℃.

SEC-8455SM
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	10/20 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 100 a 120 ℃.

SEC-8460SM
Material de la parte de contacto de gas	SUS-316L
Tipo de válvula	No: cuando no está electrificado: encendido
Rango de flujo estándar	20/30/50 SLM
Rango de control de flujo	2 a 100% F.S. (rango completo)
Precisión del flujo	± 1,0% F.S. (rango completo) ¿ temperatura de uso: 100 a 120 ℃.

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