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Máquina de recubrimiento pegajosa hmds

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Productores
Categoría de producto
Lugar de origen
Descripción general
La máquina de recubrimiento antiadherente hmds se aplica para recubrir uniformemente una capa de hmds (hexametildisilicano) en la superficie de sustratos como las pastillas de silicio antes de la homogeneización. Función: reducir el ángulo de contacto de las pastillas de silicio tratadas con hmds, reduciendo así la dificultad de extender el grabado en la superficie de las pastillas de silicio durante el tiempo de homogeneización, mejorando la adherencia del fotorresistente a las pastillas de silicio y reduciendo la cantidad de fotorresistente.
Detalles del producto

Máquina de recubrimiento pegajosa hmdsPrincipales indicadores técnicos:

1,Volumen del estudio: 250 ×250 ×250 mm (W x D x H);

2,Material de la cavidad:SUS316;

3,Material del marco exterior:Q235A, Tratamiento de pulverización de plástico en la superficie;

4,Colocación de piezas de trabajo:2 pisos;

5,Método de calentamiento: calentamiento en la parte inferior y a ambos lados de la cavidad, calefacción exterior;

6,Rango de temperatura del estudio: temperatura ambiente - - sí.200℃ ;

7,Resolución de temperatura:0.1℃;

8,Fluctuación de la temperatura:±0.5℃;

9,Método de enfriamiento: enfriamiento natural con el hornoV;

10,真空度:133Pa, hora de llegada al vacío10 minutosV;

11,Recipiente de líquido medicinal:Grupo 1, material del recipiente: vidrio de borosilicato alto;

12,electricidad Fuente:220V \50 ± 0,5 Hz;

13,Mérito Tasa: 3KWV;

Máquina de recubrimiento pegajosa hmdsEstructura de la Caja:

1, Forma estructural: estructura interna de acero inoxidable cuadrado integral, compuesta porCavidadParte, sistema de vacío, sistema de control eléctrico. El sistema de control eléctrico se encuentra en la CajaArribaFácil de operar y protección de Seguridad.

El método de presión del estudio de la Caja de prueba es el método de presión interna,Placa de acero inoxidable de alta calidad como caja de presión(es decir, el estudio), garantizar la velocidad de enfriamiento y la sensibilidad del control de temperatura, y garantizar que el estudio tenga una mejor uniformidad de temperatura en condiciones de baja presión. Instalar la carcasa fuera del estudio,Relleno de material de aislamiento térmico de fibra cerámicaAumentar el rendimiento de aislamiento térmico y garantizar el rendimiento de toda la Caja de prueba; Común en la cavidad2 pisosLaminado.

2. material de la pared interior de la caja: placa de acero inoxidable (sus316);

3. sellado de la puerta del horno: el sellado de la puerta del horno adopta una tira de sellado de Goma de silicona de falda personalizada;

4. hay costillas de refuerzo soldados en la pared exterior del Interior del estudio;

5. se instala en la parte inferior de la Caja.TierraPies.

Sistema de vacío

1. bomba de vacío:Bomba seca

2. ayudas al vacío: las principales ayudas al vacío son dispositivos importados de alta calidad, como: sensores de presión, válvulas solenoides de descarga al vacío

3. presión laboral: visualización digital.

Sistema de rehidratación hmds

1. tapa sus316V;

2. recipiente portador de borosilicato altoV;

3. alarma de falta de líquido: medidor de nivel de bola flotanteV;

4. 1 tanque de líquido medicinal, 1 Grupo de tuberías

Sistema de control:

1. medición de la temperatura: termómetro de grado k blindado de alta calidad;

2. medición de presión: sensor de presión, su estructura es fácil de reemplazar y fácil de instalar;

3. control de temperatura y presión (el mapa de la interfaz es solo para referencia):

adoptarControlador programable de temperatura constante y presión constante táctil LCD de color de 7,0 pulgadas, equipado con interfaz de comunicación informática RS232 o rs485, puede conectarse a la computadora para almacenar y registrar datos históricos, interfaz china, puede mostrar directamente la temperatura y la presión establecidas, la temperatura real en la caja, la desviación de presión, los parámetros del sistema, la curva de funcionamiento, El Estado de trabajo del calentador y el bloqueo de contraseña de los parámetros iniciales, y tiene la función de funcionamiento automático del programa de prueba y autoajuste de los parámetros idp. La compilación del programa de operación adopta el método de diálogo hombre - máquina, que puede realizar la función de operación totalmente automática del equipo;

Características del instrumento:

R. tiene la función de ajuste automático de la EIP de temperatura y humedad y los parámetros de control;

B. utilizando la pantalla lcd, se pueden mostrar varias imágenes (pantalla de operación, pantalla de selección, pantalla de configuración de parámetros de operación, pantalla de configuración de parámetros de configuración y pantalla de configuración de parámetros de programa);

La temperatura se introduce con un termómetro de grado k; La adquisición de datos de presión utiliza sensores de presión;

D. tiene abundantes funciones de cálculo arbitrarias para lograr un control de alta calidad;

4,Los componentes del controlador utilizan dispositivos de alta calidad como Siemens y Schneider para garantizar la fiabilidad del control.

5. está equipado con un dispositivo de alarma de sonido y luz de protección de sobretemperatura y un dispositivo automático de protección de corte de energía para que el equipo pueda funcionar de manera segura.

6. elementos de control de calefacción:

Medidas de protección de la seguridad

1. dispositivos de protección de puesta a tierra seguros y confiables;

2. protección de sobretemperatura de estudio independiente (protección del límite superior de temperatura);

3. protección contra cortocircuitos y sobrecarga del calentador;

Condiciones de uso del equipo

1. fuente eléctrica: ac220v ± 10% v, 50 Hz ± 2%, 3,2 kva;

2. temperatura ambiente de uso: 5 a 35 grados Celsius

3. humedad ambiente: ≤ 85% r.h;

4. calidad del aire: sin polvo de alta concentración y gas corrosivo.

diezuno, lista de materiales principales

Nombre del material

especificación

Países productores/ fabricante

Tratamiento de fuentes de gas


JapónSMC

Válvula de cierre/ válvula solenoide / filtro

Varios

Productos nacionales de alta calidad

Protector hidráulico


Productos nacionales de alta calidad

filtro


Productos nacionales de alta calidad

Bomba seca


Productos nacionales de alta calidad

Sensores de presión


Productos nacionales de alta calidad