Controlador de flujo de masa de gas

Rango de escala completa (N2 Eqv)

Gas único2-5000sccm | gas único5-50slm

Tipo de válvula de controlTipo de válvula

Solenoide abierto o cerrado()NC o NO)

Montajeconexión

1/4' VCR o 1/4' Swagelokcompatible

SellosSellado

cauchoVitón

Tiempo de respuestaTiempo de respuesta

wlSec(más allá del rango completo10%)

PrecisiónPrecisión

25%-100%:w ±1%SP(rango completo25%A 100%) 2% - 25%:w ±0.25%F.S(rango completo2%A 25%)

LinearidadLineal

wCantidad completaLa tierra de Cheng 0,5%

RepetibilidadRepetibilidad

wA plena escala± 0,2%

Presión diferencialDiferencia de presión

7 -40 psi

Integridad de fugasTasa de fuga

Máximo: 1x10-7Pa.m3/sec (Él)

Rango de controlAlcance del control

A plena escala2 - 100%

Presión máxima de funcionamientoPresión máxima de funcionamiento

70 psi

Prueba de presiónSoportar la presión

Valor máximo140 psi

Tipo de comunicaciónModo de comunicación

Simulación 0-5V / RS485

Potencia de entradaPotencia de entrada

+ 15 Vdc± 2%a 100mA

-15VDC± 2%a 200mA

Señal de comandoEntrada de señal analógica

Señal analógica0-5 VDC(resistencia de entrada>1M Q(...)/.Señal digital0 - 100%

Señal de salidaSeñal analógica de salida

Señal analógica0-5 VDC(resistencia de entrada>2M Q(...)/.Señal digital0 - 100%

Consumo de energíaConsumo de energía

4.5W

Rango de temperaturaRango de temperatura

5-45 grados C

Materialesmaterial

316LSS, 316SS, PTFE

Pesopeso

0,9 kg

Acabado de superficieTratamiento superficial

5RA