Máquina automática de eliminación de pegamento

NegociableActualización en02/09

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Naturaleza del fabricante: Productores

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Descripción general

Introducción del producto de la máquina de eliminación de pegamento totalmente automática: $n1 nombre del equipo: máquina de eliminación de pegamento seco totalmente automática $n2 modelo del equipo: cgst3100 $n3 principio del equipo: ICP $n4 tamaño de la obleas wafer tamaño: 8 pulgadas (compatible con 4 o 6 pulgadas) $n5 material de obleas wafer material: base si (debe escribirse para otros materiales)

Detalles del producto

Máquina automática de eliminación de pegamentoIntroducción del producto:

1 nombre del equipo: máquina automática de eliminación de pegamento seco

2 Modelo de equipo: cgst3100

3 principio del equipo: ICP

Tamaño de 4 obleas wafer tamaño: 8 pulgadas (compatible con 4 o 6 pulgadas)

5 material de obleas wafer material: base si (si se trata de otros materiales, debe escribirse)

Máquina automática de eliminación de pegamentoParámetros:

cuerpo del dispositivo
Tamaño del equipo	L1300 × W1190 × H1847mm
Peso del equipo	800 kg
Fuente de alimentación del equipo	AC220V，3P,50/60Hz， Línea 5, 16a
Software de host	de Windows 10
Comunicación del host	SECS/GEM
Disco duro del host	Individual / doble
Cavidad de proceso	ICP， Cavidad única
Tipo de caja	Open casette
Capacidad de procesamiento único de obleas	Una pieza
Brazo mecánico	3 ejes (selección de un solo / doble brazo)
Brazo mecánico	Mapping (opcional)
Producción por hora (wph)	35 tabletas / hora (fórmula estándar de 1 minuto)
Placa de calentamiento	Aleación de aluminio, control de temperatura: 50 - 250 ℃.
Sistema de generación de plasma
Tipo de fuente de alimentación	Radiofrecuencia
Potencia de alimentación	0 ~ 1000W
Frecuencia de la fuente de alimentación	13,56 MHz
Matchmaker	Coincidencia automática
Sistema de vacío
Cavidad de proceso	aleación de aluminio
Puerta de la cavidad	Válvula de puerta, neumática
真空管路	Tuberías de acero inoxidable completo, así como fuelle de vacío de alta resistencia
Válvula de mariposa	Precisión de control de presión: + 50 mtorr
Interruptor de línea de vacío	Válvula de ángulo, neumática
Bomba de vacío	Bomba seca: 600m3 / h
Medidor de vacío	0001 - 10 tokens
Interruptor de vacío de cavidad	750 torus
Interruptor de vacío de tubería delantera	100 Torres
Sistema de gas
Sistema de gas de proceso	Gabinetes de gas, modulares (gas box)
Material de la Caja del tanque de gas	acero inoxidable
Escape del tanque de gas	Presión negativa, descarga de ácido
Configuración del tanque de gas	Filtro, válvula manual, medidor de flujo, válvula neumática, manómetro, válvula de regulación de velocidad, interruptor de cadena
Número de rutas de gas
Vía aérea 1	O2 5SLM
Vía aérea 2	N2 1SLM
Vía aérea 3	CF4 100SCCM
Camino de gas 4	4% H2 / N2 1SLM
Vía aérea 5	N2 vacío lento / rápido

Más necesidades se pueden comunicar por teléfono.

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