Máquina de recubrimiento rotativo de nivelador de pegamento ultrasónico de cuatro aspersores

Máquina de recubrimiento rotativo de nivelador de pegamento ultrasónico de cuatro aspersoresEs un gaoduan, un equipo de procesamiento de semiconductores y micro - nano de alta precisión para recubrir fotorresistentes u otros líquidos funcionales en el sustrato. Representa la última dirección de desarrollo de la tecnología de homogeneización, especialmente adecuada para la aplicación de recubrimientos de estructuras complejas y sustratos no planos.

Las máquinas de homogeneización tradicionales suelen tener solo una cabeza fija de goteo o un aspersor estático, cubriendo el fotorresistente sobre el sustrato a través del goteo central o la pulverización estática, y luego haciendo que el coloide se extienda uniformemente a través de la fuerza centrífuga generada por la rotación de alta velocidad.

La máquina de Nivelación de pegamento ultrasónico de cuatro aspersores es un diseño revolucionario. Integra los siguientes componentes básicos:

Cuatro aspersores piezoeléctricos ultrasónicos independientes: este es el origen de su nombre. Cada aspersor es una unidad de distribución de líquidos independiente y precisa.

Brazo robótico de alta precisión: estos cuatro aspersores se instalan en un brazo robótico de varios grados de libertad, que puede controlar con precisión el movimiento tridimensional complejo del aspersor por encima del sustrato.

Técnica de atomización por ultrasonido: utilizar vibraciones ultrasónicas de alta frecuencia para "desgarrar" el líquido en gotas de niebla extremadamente pequeñas y uniformes (generalmente de diámetro en el nivel de micras) y luego expulsarlo a través de un gas portador.

Sistema de control colaborativo: un complejo sistema de software que puede controlar simultáneamente el interruptor, el flujo y la trayectoria del brazo robótico de cada aspersor.

I. breve descripción de los principios de funcionamiento:

No es simplemente gotear pegamento en el centro, sino como una. "3DAl igual que la "impresora de inyección de tinta", se controlan cuatro aspersores a través de un programa para realizar una pulverización de escaneo en la superficie del sustrato de acuerdo con la ruta preestablecida. Cada aspersor puede funcionar de forma independiente o colaborativa, logrando así una uniformidad y flexibilidad de recubrimiento sin precedentes para qian.

II. ventajas básicas:

En comparación con la máquina de Nivelación de pegamento tradicional, la máquina de Nivelación de pegamento ultrasónico de cuatro aspersores tiene ventajas abrumadoras:

1.Uniformidad de jigao:

2.Cobertura escalonada y preservación de la forma de Zuo yue:

3.La alta tasa de utilización de materiales de ji:

4.Excelente compatibilidad y flexibilidad:

5.Reducir defectos:

3. Áreas de aplicación de la máquina:

Debido a sus ventajas técnicas únicas, la niveladora de pegamento ultrasónico de cuatro aspersores se utiliza principalmente en el campo de la Ciencia y la tecnología de vanguardia con altos requisitos Ji para el proceso de recubrimiento de pegamento:

1.Fabricación de semiconductores:

2.MEMS(sistema electromecánico)

3.Semiconductores compuestos y dispositivos de potencia:

4.Dispositivos fotónicos y componentes ópticos:

5.Tecnología de visualización:

6.Investigación científica y exploración de vanguardia:

4.Máquina de recubrimiento rotativo de nivelador de pegamento ultrasónico de cuatro aspersoresParámetros técnicos: