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Medidor de espesor de película

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Descripción general
Este equipo utiliza el principio de interferencia reflectante para realizar mediciones no destructivas, medir el espesor y el índice de refracción de la película en un sustrato absorbente o transparente, al tiempo que proporciona la reflectividad de la muestra, la precisión de medición alcanza la resolución de nivel e, la medición es rápida, la operación es simple, la interfaz es amigable y el tiempo de medición es inferior a 1 segundo. Se puede aplicar a la medición del espesor de películas delgadas como resistencias ópticas, materiales semiconductores y materiales poliméricos, y ha sido ampliamente utilizado y muy bien recibido en semiconductores, energía solar, paneles LCD y la industria óptica, así como en institutos de investigación científica y universidades.
Detalles del producto

Medidor de espesor de películaEspecificaciones del sistema de medición:

Función básica: obtener el valor del espesor de la película y los espectros r, n / k, etc.

Rango de análisis espectral: 380 nm - 1000 nm

Tamaño del punto de medición: estándar 1,5 mm, mínimo 0,5 mm

Precisión de medición repetida del espesor de la película: 0,02 nm (muestra de sio2 a base de silicio de 100 nm, 100 mediciones repetidas)

Precisión del espesor de la película: mayor entre el 0,2% o 2 nm

Rango de medición del espesor de la película: 15 nm - 70 μm

Requisitos para medir el espesor de los valores n y k: más de 100 nm

Tiempo de medición de un solo punto: ≤ 1s

Fuente de luz: fuente de luz halógeno estándar (vida útil de la fuente de luz 2000 horas)

Software de análisis: hasta cientos de bases de datos de constantes de materiales ópticos y soporte para la Biblioteca de materiales ópticos personalizada por el usuario; Proporciona funciones de modelado, simulación y análisis de películas ópticas isotrópicas multicapa

Medidor de espesor de películaEspecificaciones de la Mesa de muestras:

Tamaño del sustrato: admite el tamaño de la muestra a 150 * 150 mm (se puede actualizar y personalizar el Banco de muestras de diferentes tamaños)

Software de medición, control y análisis

Capacidad de medición espectral: medición espectral de la reflectividad

Capacidad de análisis de datos: capacidad de análisis del espesor de la película, constante óptica (índice de refracción y coeficiente de extinción)

Soporte para modelos de constantes ópticas comunes y modelos de vibradores comunes (modelo cauchy, modelo lorenz, modelo gauss, etc.)

Soporte personalizado por el usuario, software de análisis fuera de línea para simular mediciones reales, soporte para el sistema operativo Windows 10