El detector de fotoluminiscencia electroluminiscente - el & PL Tester - roboti puede describir sistemáticamente las propiedades de fotoluminiscencia (el) y las propiedades de fotoluminiscencia (pl) de los materiales luminosos en bruto. Como el espectro, LIV、 Salida, características de la eficiencia cuántica de pendiente, curva de desplazamiento de longitud de onda y fwhm, uniformidad del nivel del círculo de armonía, intensidad de emisión, longitud de onda máxima / principal (wlp / wld), fwhm, voltaje / corriente de conducción, etc. Pruebas no destructivas y mediciones rápidas. Con este rendimiento único, la tecnología maxmile elpl ofrece soluciones electroluminiscentes / fotoluminiscentes sin precedentes para la industria fotoeléctrica, trayendo nuevos rendimientos y una mayor eficiencia. El sistema de prueba de Electroluminiscencia / fotoluminiscencia maxmile elpl combina las tecnologías exclusivas epiel y pl en un sistema que puede (a) ser un sistema epiel convencional, o (b) ser un sistema de prueba PL convencional, o (c) ser un sistema de prueba combinado elpl.
Detector de fotoluminiscencia electroluminiscente - detector el & PL - Descripción del producto roboti:
La tecnología de Electroluminiscencia / fotoluminiscencia de la placa epitaxial roboti maxmile proporciona una solución de caracterización única para la industria LED / ld. Puede describir sistemáticamente las propiedades luminiscentes (el) y las propiedades luminiscentes (pl) de los materiales luminiscentes no procesados. Como el espectro, LIV、 Salida, características de la eficiencia cuántica de pendiente, curva de desplazamiento de longitud de onda y fwhm, uniformidad del nivel del círculo de armonía, intensidad de emisión, longitud de onda máxima / principal (wlp / wld), fwhm, voltaje / corriente de conducción, etc. Pruebas no destructivas y mediciones rápidas. Con este rendimiento único, la tecnología maxmile elpl ofrece soluciones electroluminiscentes / fotoluminiscentes sin precedentes para la industria fotoeléctrica, trayendo nuevos rendimientos y una mayor eficiencia. El sistema de prueba de Electroluminiscencia / fotoluminiscencia maxmile elpl combina las tecnologías exclusivas epiel y pl en un sistema que puede (a) ser un sistema epiel convencional, o (b) ser un sistema de prueba PL convencional, o (c) ser un sistema de prueba combinado elpl.
El sistema de Electroluminiscencia / fotoluminiscencia maxmile robot I es un sistema de prueba semiautomático que puede procesar tamaños de obleas de 2 "a 8" sin cambiar ningún hardware. Puede optar por soportar un tamaño máximo de obleas de 12 pulgadas. Con las últimas soluciones de la industria, todos los componentes clave, incluyendo la plataforma del sistema, el alineador de chips y la Plataforma de carga y descarga de caja (solo admite 1), están diseñados desde cero, enfatizando la funcionalidad, fiabilidad y simplicidad. El sistema tiene un rendimiento superior, versatilidad y fiabilidad, y es fácil de dominar y operar, lo que puede promover la investigación y el desarrollo fotovoltaico y el desarrollo de la industria con nuevas capacidades y una mejor eficiencia.

Características del producto roboti del probador de luminiscencia luminosa - el & PL - roboti:
- Compatible simultáneamente con las pruebas de Electroluminiscencia y fotoluminiscencia
- Pruebas no destructivas, que se pueden probar rápidamente
- Sistema de prueba semiautomático
- Control del sistema gráfico
- Software de sistema intuitivo
- Operación de un solo clic
- No se necesita preparación de muestras, alta productividad
- Se puede actualizar el sistema de prueba automática
- Reconocimiento automatizado de wafer - Tamaño
- Configuración del sistema altamente personalizada
- Diferentes necesidades de prueba de sondas multifuncionales
- Las sondas se pueden seleccionar de acuerdo con diferentes necesidades de prueba.
- Se puede actualizar a semiautomático y automático
- Fácil de dominar y operar
Alcance de la aplicación:
- Medición de las propiedades de las láminas epitaxiales LED / LD
- Mapeo rápido el y wafer - nivel el sin daños
- Investigación Científica de materiales
- Desarrollo de materiales y sistemas sin obleas
- Proporcionar una respuesta inmediata a las modificaciones de la receta
- Optimización del proceso y el sistema de fabricación de semiconductores
- Proporciona respuesta inmediata para modificaciones de fórmulas, procesos y optimización de sistemas
- Proporcionar control de calidad a nivel de equipo para el crecimiento de materiales
- Evaluación de obleas de alta eficiencia, selección y clasificación de equipos
Parámetros técnicos:
- Tamaño de la hoja epitaxial: 2 - 8 "(hasta 12 personalizables")
- Tamaño de la Mesa de trabajo: 32 "× 32" × 68 "
- Carga del chip: manual / automático
- Plataforma de descarga de caja: 1
- Rango de detección espectral: 200 - 800 nm
- Resolución espectral: 0,5 - 2 nm (dependiendo del rango espectral)
Proyecto de prueba:
1. mapeo de Electroluminiscencia:
- Longitud de onda - longitud de onda wlp / wld / wlc (pico / principal / centro), media anchura alta.
- Intensidad luminosa - potencia de radiación / luminiscencia, eficiencia de conversión cuántica.
- Corriente - corriente / voltaje positivo, voltaje de conducción, corriente de fuga / voltaje inverso, voltaje umbral, resistencia de conducción, corriente de fuga positiva de la resistencia superior, resistencia de serie, factor ideal, etc.
2. fotoluminiscencia mapping:
- Longitud de onda - longitud de onda wlp / wld / wlc (pico / principal / centro), media anchura alta.
- Intensidad luminosa - potencia de radiación / luminiscencia, eficiencia de conversión cuántica.
3. mapa de características iv:
- Corriente / voltaje positivo, corriente de fuga / voltaje inverso, voltaje umbral, resistencia a la conducción, etc.
4. otras características mapping:
- Grado de deformación
- Espesor de la película
* (para todos los proyectos de prueba anteriores, se puede hacer un diseño tanto para Mapping como para pruebas rápidas)
Tipo de curva de prueba:
- Espectro de Electroluminiscencia de corriente / voltaje de accionamiento específico
- Espectro de fotoluminiscencia
- Liv - corriente / intensidad luminosa - voltaje
- Intensidad de salida - corriente de conducción
- Longitud de onda & media altura y ancho - corriente de conducción
- IV inverso
Fuente emocionante:
- El: keithley digital Power
- Pl: fuente de luz de 405 nm (otras longitudes de onda personalizables)
- 探针类型: Tipo I, Tipo IA, Tipo II, Tipo IIA, Tipo IIB, Tipo IIC y GaN-on-Si
- Prueba de corriente: > 10-12Una
- Punto de muestreo / paso de muestreo:
- Los puntos de muestreo de Electroluminiscencia y los pasos de medición óptica / eléctrica de cada punto pueden ser establecidos por el usuario final.
- Los puntos de muestreo de fotoluminiscencia pueden ser establecidos por el usuario final de acuerdo con la demanda (el modo de alta resolución se aplica a aplicaciones de alto nivel, y el modo de escaneo rápido se puede producir en masa)
- Tiempo de prueba: unos 0,5 - 12 minutos / película epitaxial (dependiendo del tipo de prueba, el punto de muestreo, el Protocolo de detección y la configuración del paso de medición. la velocidad de escaneo de la opción de fotoluminiscencia es de hasta 50 puntos por segundo)
- Codificación de color mapping: color arcoíris, degradado, color dual, temperatura, gris, o cualquier tipo de color especificado por el usuario final.
- Tensión de entrada: 15a / 110vac o 10a / 220VAC (tensión máxima);
- Condiciones ambientales:
- Temperatura: 15 - 30 ° C
- Humedad relativa: 30% - 70% sin condensación.
- El sistema de prueba automática requiere vacío
Presentación del informe de prueba:
1. mapa de mapeo de Electroluminiscencia / fotoluminiscencia

2. curva de Electroluminiscencia / fotoluminiscencia

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