Planta de rectificación de grado EP

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Naturaleza del fabricante: Productores

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Descripción general

El dispositivo de rectificación de clase EP es el equipo central para la producción de gas electrónico especial. a través de la rectificación y purificación de precisión, la pureza del gas alcanza más del 99999%, lo que satisface la demanda de semiconductores.

Detalles del producto

I. definición básica y escenarios de aplicación

El dispositivo de rectificación de clase ep, es decir, el dispositivo de rectificación de clase Electronic pure, es un dispositivo de purificación de gas de alta precisión diseñado especialmente para la industria electrónica. Elimina las trazas de impurezas (como agua, iones metálicos, hidrocarburos, etc.) del gas a través de múltiples y sofisticados procesos de rectificación, lo que finalmente alcanza una pureza del gas superior al 99999% (5n), y en algunos escenarios se puede lograr una pureza del 999999% (6n).

Se utiliza principalmente en la fabricación de chips semiconductores, la producción de células fotovoltaicas, el procesamiento de componentes electrónicos y otros campos, proporcionando gas electrónico especial de alta pureza (como hidrógeno, oxígeno, amoníaco, etc.) para procesos clave como el grabado y la deposición, lo que afecta directamente el rendimiento y el rendimiento del producto.

II. principios básicos de funcionamiento

Basado en el principio de rectificación de "diferencia de punto de ebullición de diferentes sustancias", combinado con los estrictos requisitos de la producción electrónica, el proceso se divide en tres pasos:

Fase de pretratamiento: el gas de materia prima se pretrata primero por filtración, secado, etc., eliminando la mayoría de las partículas sólidas y el agua, evitando el bloqueo o la contaminación de los equipos posteriores.
Fase de rectificación de precisión: el gas pretratamiento entra en la torre de rectificación especial, que aumenta el área de contacto Gas - líquido a través de placas de torre o rellenos. Utilizando el ciclo de calentamiento del Fondo de la torre y condensación de la parte superior de la torre, los componentes volátiles (gas objetivo) y los componentes volátiles (impurezas) en el gas se separan repetidamente para mejorar gradualmente la pureza.
Fase de purificación posterior: el gas producido desde la parte superior de la torre de rectificación, luego después de la purificación secundaria, como la adsorción y la separación de membranas, reduce aún más el contenido de impurezas trazas y finalmente alcanza el estándar de grado ep.

III. características tecnológicas clave

Material especial: para satisfacer las necesidades de purificación, los componentes que entran en contacto con el gas de los dispositivos de rectificación de clase EP (como torres de rectificación, tuberías, válvulas) utilizan principalmente acero inoxidable 316L o aleación de harbin, y la pared interior es pulida por electrolisis (pulido ep) para reducir la absorción y disolución de impurezas.
Control preciso: equipado con sensores de temperatura, presión, flujo y sistema de control automático de alta precisión, puede ajustar los parámetros de rectificación en tiempo real (por ejemplo, la diferencia de temperatura en la torre se controla dentro de ± 0,1 ° c) para garantizar una pureza estable.
Diseño de fugas ultra bajas: con estructura sellada y tecnología de detección de fugas de espectrometría de masas de helio, la tasa de fuga se controla por debajo de 1 × 10 ⁹ pa · mò / s para evitar la infiltración de impurezas externas.

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