Prueba de detección de gas de círculo de cristal de la sonda manual de vacío de alta temperatura nacional

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Descripción general

Prueba de detección de gas de la sonda manual de vacío de alta temperatura de fabricación nacional, la interfaz se puede reservar para la instalación de válvulas electrónicas y caudalímetros, cargar otros gases para usar, el rango de temperatura es de 77,15 k a 673,15 K (- 196 grados Celsius a 400 grados celsius)

Detalles del producto

Prueba de detección de gas de círculo de cristal de la sonda manual de vacío de alta temperatura nacional

El sistema de mesa de sonda de alta y baja temperatura alcanza ≤ 10pa para realizar pruebas de baja temperatura sin condensación o escarcha. Para los usuarios que han seleccionado una configuración de nivel de entrada, pueden elegir una bomba mecánica de placa giratoria bipolar para lograr el vacío objetivo, reduciendo así el presupuesto de configuración del equipo. Para los usuarios con mayores requisitos de vacío, se puede seleccionar un grupo de Bombas moleculares para bombear vacío en el sistema. El sistema de mesa de sonda criogénica puede alcanzar los 10^-3PA. también se pueden seleccionar grupos de bombas de mayor vacío para cumplir con los requisitos de prueba.

Para reducir la vibración del Grupo de bombas, también hemos diseñado especialmente aisladores de vibración para los usuarios.El suelo atenua la vibración generada durante el trabajo del Grupo de bombas para garantizar la estabilidad del sistema y reducir la deriva de la sonda.

国产手动高温真空探针台晶圆检测气敏测试

Prueba de detección de gas de círculo de cristal de la sonda manual de vacío de alta temperatura nacional¿‍ sí?

Cavidad de vacío
tipo	Temperatura ambiente de alta temperatura a400℃	Tipo de alta y baja temperatura Temperatura ambiente a400℃ Temperatura ambiente a-196℃
Material de la cavidad	304acero inoxidable 6061aleación de aluminio Opcional
Tamaño interior de la cavidad	127mm x 57mm x 20mm
Tamaño exterior de la cavidad	150mm x 80mm x 32mm
Peso de la cavidad	Material de acero inoxidable Aproximadamente1,5 kg Material de aleación de aluminio Aproximadamente0,5 kg
Tamaño de la ventana en la cavidad	Φ42 mm(ventana cóncava opcional para reducir la distancia entre la ventana y la muestra)
Salida de aire de la cavidad	KF16Brida (el resto de las especificaciones de la interfaz se pueden transferir)
Puerto de medición de vacío de la cavidad	KF16Brida (el resto de las especificaciones de la interfaz se pueden transferir)
Entrada de aire de la cavidad	6 mmTornillo rápido O 6 mmInserción rápida
Modo de enfriamiento de la cavidad	Refrigeración por agua de la cavidad- sí.Enfriamiento por gas en la tapa superior
Interfaz de refrigeración por agua de la cavidad
Presión positiva de la cavidad	≤0,05 MPa
Grado de vacío de la cavidad	Bomba mecánica ≤5Pa（5Min) Bomba Molecular ≤5E-3Pa（30Min)
Mesa de muestras
Material de la Mesa de muestras	acero inoxidable Aleación de plata y cobre Bloque de plata esterlina	Aleación de plata y cobre Bloque de plata esterlina
Tamaño de la Mesa de muestras	26x26mm
Método de calentamiento de la Mesa de muestras	Calentamiento por resistencia	Calentamiento por resistencia Refrigeración por nitrógeno líquido
Mesa de muestras-Ventanas distancia	11 mm(la ventana cóncava opcional se utiliza para reducir la distancia entre la ventana y la muestra hasta6 mm(...)
Sensor de medición de temperatura de la Mesa de muestras	PT100Resistencia térmica de tipo
Temperatura de la Mesa de muestras	Temperatura ambiente a400℃	Temperatura ambiente a 400℃ Temperatura ambiente a-196℃
Error de medición de temperatura de la Mesa de muestras	±0.5℃
Tasa de aumento de temperatura de la Mesa de muestras	alta temperatura100℃por min baja temperatura7℃por min
Termómetro
Pantalla de temperatura	7Interfaz hombre - máquina de pulgada
Tipo de control de temperatura	estándarPIDControl de temperatura- sí.Autoajuste
Resolución de temperatura	0.1℃
Precisión del control de temperatura	±0.5℃
Tipo de entrada de señal de temperatura	PT100(opcionalK S C. B.Tipo de termómetro)
Salida de control de temperatura	Calentamiento de la fuente de alimentación lineal de corriente continua	Calentamiento de la fuente de alimentación lineal de corriente continua- sí.Controlador de velocidad de flujo de nitrógeno líquido
Función auxiliar	Adquisición y exportación de datos de temperatura Curva de temperatura en tiempo real- sí.Curva de temperatura histórica Interfaz de lectura de vacío escalable
Tamaño del controlador de temperatura	32cmX170cmX380cm
Peso del controlador de temperatura	Aproximadamente5,6 kg
Sonda
Conector de señal eléctrica	Transferencia de cableadoBNCConector BNCConectores triaxiales SMAConector Enchufe de plátano Longitud de la línea1.2Metro
Propiedades eléctricas	Resistencia de aislamiento ≥ 14000MΩ Resistencia a la presión media ≤200 V Ruido actual ≤10pA
Número de sondas	4Sonda (escalable)5Sonda)
Material de la sonda	Aguja de tungsteno dorada (otros materiales opcionales)
Punta de la sonda	10μm
Plataforma móvil de sonda manual
XViaje de movimiento del eje	20 mm±10 mm(se necesita empujar manualmente la tobogán)
XPrecisión del control del eje	≥ 1500μm
RViaje de movimiento del eje	120 °±60 °(se necesita girar manualmente la barra de la sonda)
RPrecisión del control del eje	≥ 1500μm
ZViaje de movimiento del eje	2 mm±1 mm
ZPrecisión del control del eje	≤50 μm(se necesita ajustar manualmente la barra de la sonda con hilo)

Detección manual de círculo de cristal de mesa de sonda de vacío de alta temperatura de fabricación nacional

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