Sistema de litografía sin máscara de escritorio

Sistema de litografía sin máscara de escritorio

marcaNanyte

Origen: Singapur

NANYTEBESistema de litografía sin máscara de escritorio amMasEl sistema de litografía Klass / sistema de escritura directa láser de escritorio procesa patrones estructurales a nivel micro y nano, sin máscaras caras caras, exponiendo directamente el fotorresistente en la superficie del sustrato a dosis variables centrándose en el escaneo de rayos láser, logrando el procesamiento de patrones de micras a nanómetros. Al tiempo que garantiza su excelente rendimiento, el diseño miniaturizado hace que la operación sea más conveniente y realiza un procesamiento rápido, lo que no sólo mejora la eficiencia de la investigación científica y la producción de dispositivos micro y nano, sino que también ahorra costos de manera efectiva.

El motor del haz enfoca el haz láser ultravioleta en el punto límite de difracción, a través del cual el foco expone el fotorresistente de acuerdo con el escaneo del patrón diseñado; Al mismo tiempo, para las obleas / sustratos de gran tamaño, las obleas / sustratos móviles se exponen varias veces a través de un caminante de precisión, y luego se suturan los patrones de exposición múltiple para completar el procesamiento de los patrones micro - nano de toda la obleas / sustratos. El motor de haz es capaz de procesar un ancho de línea característico inferior a 500 nm en una obleas de 6 pulgadas.

lCompacto.

- fotolitografía compacta y totalmente funcional sin máscara

lPoderoso.

- Tratamiento del ancho de línea característico inferior a 500 nm

Lograr la exposición de patrones de una sola zona en 2 segundos

- tamaño de procesamiento 150 mmx150 mm

lFoco automático ultrarápido.

- lograr que el enfoque se complete en 1 segundo

- accionamiento piezoeléctrico con control óptico de enfoque de circuito cerrado

lMulticapa sin problemas.

- lograr una alineación semiautomática de varias capas en pocos minutos

Interfaz de control de software:

Diseño humanizado de la interfaz del software, navegación wasd, haga clic derecho en cualquier lugar para llegar

Reconocimiento automático de imágenes

- lograr una alineación multicapa en pocos minutos

- exponer cualquier patrón o escribir cualquier texto en el fotorresistente en cuestión de segundos

- Solo hay que cargar, alinear y exponer

- similarCNCOperación de navegación

- cuando se expone en varias capas,GDSVisualización de patrones; El software se cargaráGDSPequeño mapa, navegación con un solo clic a cualquier área de la obleas

Ejemplo de aplicación:

Una matriz de patrones en un sustrato de silicio, cada unidad es de 50 × 63 micras,

La distancia entre los patrones adyacentes es de 3 micras.

Fotorresistente: az5214e

Matriz de resonadores de anillo abierto, a 1,5 micras de distancia a la derecha

La distancia de separación a la izquierda es de 2 micras y el diámetro del anillo exterior es de 80 micras.

Condensadores cruzados (idc), ancho de línea de puerta de 2 micras

Fotorresistente: az5214e

Resonador asimétrico de anillo abierto metalizado

Parte cónica de 0,8 micras, electrodo de contacto lateral de 20 ✕ 90 micras

Fotorresistente: az5214e

Áreas de aplicación:

• Campo de la fotónica:Se utiliza para fabricar cristales fotónicos, guías de onda, microlentes, elementos ópticos difractivos, etc. estos elementos son ampliamente utilizados en comunicaciones ópticas, computación óptica, imágenes ópticas y otros campos. Por ejemplo, la fabricación de una matriz de microlentes con propiedades ópticas específicas se puede utilizar en sistemas de imágenes, sensores ópticos y otros equipos para mejorar su rendimiento e integración.

• En el campo biomédico:Se puede utilizar para preparar soportes de ingeniería de tejidos, chips microfluídicos, biosensores, etc.

• En el campo de la microelectrónica:En la fabricación de circuitos integrados, la tecnología de escritura directa láser tiene las ventajas de bajo costo y alta flexibilidad para la fabricación de máscaras, patrones fotorresistentes, etc., especialmente para la fabricación de pequeños lotes y chips de circuitos integrados de alta precisión. Además, se puede utilizar para fabricar dispositivos de Sistemas microelectromecánicos (microelectromecánicos), como estructuras micromecánicas, microsensores, microactuadores, etc.