Litografía de escritorio Enciclopedia Jiangsu Leibo suministra Hangzhou / Shanghai y otros lugares

Parámetros del fotolitografía de escritorio: 1. área máxima de exposición: 160mm * 160mm. 2. Resolución de exposición: 1um (pegamento positivo con un espesor de pegamento ≤ 0,5um). 3. precisión de alineación: /; 1um (obleas pulidas estándar). 4. intensidad de la fuente de luz: 35 MW / cm2. 5. longitud de onda de exposición: fuente de Luz LED (perla importada, vida útil 10000 horas)

　　Fotolitografía de escritorioParámetros:

1. superficie máxima de exposición: 160 mm * 160 mm

2. Resolución de exposición: 1u M (pegamento positivo con un espesor de pegamento ≤ 0,5 um)

3. precisión de alineación: + 1um (obleas pulidas estándar)

4. intensidad de la fuente de luz: 35 MW / cm2

5. longitud de onda de exposición: fuente de Luz LED (perlas importadas, vida útil superior a 10000 horas)

6. método de exposición: cronometrado (método de cuenta atrás)

7. rango de movimiento relativo de la muestra de máscara: x: mejor que ± 5 mm;

8.y: mejor que ± 5 mm; 0: mejor que ± 6 °

9. tamaño de la máscara: 7 pulgadas, especificación de la muestra: 6 pulgadas (disco de cristal)

10. configuración digital de la brecha de alineación y la brecha de exposición

11. brecha de separación de muestras de máscara: 6 = o - 500um ajustable continuamente

12. método de alineación: alineación automática, que puede aumentar el tipo de marca de alineación de acuerdo con las necesidades del cliente, acumulando no más de 4 grupos

13. transmisión automática de película: transmisión automática de película de manipulador (brazo mecánico de muestra especial y tenedor de película), incluida la función de posicionamiento de alineación previa

14. rango de microsondas: y: + 40 mm (configuración digital)

15. tiene cuatro funciones: exposición de flotación de aire a presión positiva, exposición de contacto duro, exposición de contacto a presión y exposición cercana, Cámara óptica, alineación de Cámara de telecentro + pantalla.

16. nivelar la presión de contacto para garantizar la repetición a través del sensor

17. rango de distancia ajustable de la lente doble: 30 mm - 130 mm