D07 - 9 controlador de flujo de masa / medidor de flujo

NegociableActualización en02/09

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Descripción general

El controlador de flujo de masa D07 - 9 / medidor de flujo es un medidor de flujo de masa térmica. el controlador de flujo de masa se puede aplicar para medir y controlar varios gases. además de la medición, también se puede controlar con precisión el flujo de masa del gas. El medidor de flujo de masa (mfm) puede medir con precisión el flujo de masa del gas. El producto D07 - 9 es un producto de simulación con alta precisión de investigación y desarrollo y tiempo de respuesta rápido de Huacheng electronics.

Detalles del producto

El medidor de flujo de masa (mfm) se utiliza para medir con precisión el flujo de masa del gas; El controlador de flujo de masa (mfc) se utiliza para medir y controlar con precisión el flujo de masa del gas. Tienen importantes aplicaciones en la investigación científica y la producción en semiconductores y circuitos integrados, disciplinas de materiales especiales, industria química, industria petrolera, medicina, protección del medio ambiente y vacío. Sus aplicaciones típicas incluyen: equipos de proceso electrónico, como difusión, oxidación, epitaxia, CVD、 Grabado por plasma, pulverización e implantación de iones; Así como equipos de recubrimiento, fundición de fibra óptica, dispositivos de microreacción, sistemas de distribución de gas mixto, medición capilar, cromatógrafo de gas y otros instrumentos de análisis.

D07 - 9 controlador de flujo de masa / medidor de flujoCon las características de alta precisión, buena repetibilidad, velocidad de respuesta rápida, arranque suave, estabilidad y confiabilidad, amplio rango de presión de trabajo (se puede trabajar en condiciones de alta presión o vacío), se utiliza un conector estándar internacional, que es fácil de operar y usar, se puede instalar en cualquier posición y es fácil de conectar con la computadora para lograr el control automático.

El controlador de flujo de masa y el medidor de flujo de masa de la serie D07 generalmente se utilizan con el monitor de flujo de la serie D08 y otros productos, y el controlador de control y la pantalla se conectan con un cable especial.

característica

• tipo de flujo Medio
- sellado de caucho, circuitos analógicos con metano
• El convertidor no es fácil de bloquear
• con enchufe eléctrico tipo db15, conector mecánico estándar internacional

D07 - 9 controlador de flujo de masa / medidor de flujoParámetros técnicos

tipo	Tipo D07 - 9E	Tipo D07 - 9em	Tipo D07 - 9f	D07-9FM 型
Especificaciones de tráfico	(0 ~ 20,30,50,100,150,200,250) SLM	(0 ~ 20,30,50,100,150,200,250) SLM	0 ~ 20,30,50,100,150,200,250 SLM	0 ~ 20,30,50,100,150,200,250 SLM
precisión	±2 % F. El S.	±2 % F. El S.	±2% F. El S.	±2 % F. El S.
Lineal	±1 % F. El S.	±1 % F. El S.	±1% F. El S.	±1 % F. El S.
Precisión repetida	±0,2 % F. El S.	±0,2 % F. El S.	±0,2% F. El S.	±0,2 % F. El S.
Tiempo de respuesta	(1 ~ 4) segundos	(1 ~ 4) segundos	≤ 4 segundos	≤4 segundos
Rango de diferencia de presión de trabajo	20, 30 SLM: (0,05 ~ 0,30) MPa (7,3 ~ 43,5 psid) 50.150 SLM: (0,10 ~ 0,30) MPa (14,5 ~ 43,5 psid) 200.250 SLM: (0,15 ~ 0,30) MPa (21,8 ~ 43,5 psid)	-	20,30 SLM: (0,05 ~ 0,30) MPa (7,3 ~ 43,5 psid) 50 ~ 150 SLM: (0,10 ~ 0,30) MPa (14,5 ~ 43,5 psid) 200.250 SLM: (0,15 ~ 0,30) MPa (21,8 ~ 43,5 psid)	-
Caída de presión	-	20 ~ 100SLM: <0,02 MPa (2,9 psid); >100SLM: <0,05 MPa (7,3 psid)	-	20 ~ 100SLM: <0,02 MPa (2,9 psid); >100SLM: <0,05 MPa (7,3 psid)
Presión máxima de trabajo	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
Resistencia a la presión	3 MPa (435,1 psig)	3 MPa (435,1 psig)	3 MPa (435,1 psig)	3 MPa (435,1 psig)
Temperatura ambiente de trabajo	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5℃ ~ 45℃	5 ℃ ~ 45 ℃
Señal de entrada y salida	0 V ~ +5,00 V (la resistencia de entrada es superior a 100k y la corriente de salida no es superior a 3ma)	0 V ~ +5,00 V (la resistencia de entrada es superior a 100k y la corriente de salida no es superior a 3ma)	4 a 20 ma o 1 a 5 VDC	4 a 20 ma o 1 a 5 VDC
Fuente de alimentación	+15 V 50 mA -15V 400 mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA	24VDC 400 mA	24 VDC 100 mA
peso	2,6 kg	1,5 kg	2,6 kg	1,5 kg

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