D07 - 7 controlador de flujo de masa / medidor de flujo

NegociableActualización en02/09

modelo

Naturaleza del fabricante: Productores

Categoría de producto

Lugar de origen

Consulta en línea

Descripción general

El controlador de flujo de masa D07 - 7 / medidor de flujo es un medidor de flujo de masa térmica, que se puede aplicar para medir y controlar varios gases, además de la medición, también puede controlar con precisión el flujo de masa del gas, y el medidor de flujo de masa (mfm) puede medir con precisión el flujo de masa del gas. El producto D07 - 7 es el producto básico del medidor de flujo de siete estrellas, que puede satisfacer las necesidades básicas de medición y control de flujo de los clientes.

Detalles del producto

El controlador de flujo de masa (mfc) se utiliza para medir y controlar con precisión el flujo de masa del gas. Tienen importantes aplicaciones en la investigación científica y la producción en semiconductores y circuitos integrados, disciplinas de materiales especiales, industria química, industria petrolera, medicina, protección del medio ambiente y vacío. Sus aplicaciones típicas incluyen: equipos de proceso electrónico, como difusión, oxidación, epitaxia, CVD、 Grabado por plasma, pulverización e implantación de iones; Así como equipos de recubrimiento, fundición de fibra óptica, dispositivos de microreacción, sistemas de distribución de gas mixto, medición capilar, cromatógrafo de gas y otros instrumentos de análisis.

D07 - 7 controlador de flujo de masa / medidor de flujoTiene las características de alta precisión, buena repetibilidad, velocidad de respuesta rápida, arranque suave, estabilidad y confiabilidad, amplio rango de presión de trabajo (se puede trabajar en condiciones de alta presión o vacío), es fácil de operar y usar, se puede instalar en cualquier posición y es fácil conectarse a la computadora para lograr el control automático. El controlador de flujo de masa de la serie D07 generalmente se utiliza con el monitor de flujo de la serie D08 y otros productos, y el controlador y el monitor están conectados por un cable especial.

Características:

- sellado de caucho, circuitos analógicos con metano

- desviación tubular, larga vida útil

D07 - 7 controlador de flujo de masa / medidor de flujoParámetros técnicos:

número	tipo	D07-7K 型	Tipo D07 - 7b	Tipo D07 - 7c	Tipo D07 - 7cm
1	Especificaciones de tráfico	(20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM	(0 ~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM	(0 ~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM	(0 a 5, 10, 20, 30, 50100200300500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
2	precisión	±1 % F.S.	±1,5 % F.S.	±1,5 % F.S.	±1,5 % F.S.
3	lineal	±1 % F.S.	±1 % F.S.	±1 % F.S.	±1 % F.S.
4	Precisión repetida	± 0,2 % F.S.	± 0,2 % F.S.	± 0,2 % F.S.	± 0,2 % F.S.
5	Tiempo de respuesta	Características eléctricas: 10 segundos; Características del gas: ≤ 4 segundos	Características eléctricas: 10 segundos; Características del gas: ≤ 4 segundos	Características eléctricas: 10 segundos; Características del gas: ≤ 4 segundos	10 segundos
6	Caída de presión	ˉ	ˉ	ˉ	< 0,01 MPa
7	Rango de diferencia de presión de trabajo	(0,1 ~ 0,5) MPa	(0,1 ~ 0,5) MPa	(0,1 ~ 0,5) MPa	< 0,01 MPa
8	Coeficiente de temperatura	Cero: ≤±0.1% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃;	ˉ	ˉ	ˉ
9	Presión máxima de trabajo	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
10	Resistencia a la presión	3 MPa	3 MPa	3 MPa	3 MPa
11	Temperatura ambiente de trabajo	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
12	Señal de entrada y salida	0 V ~ +5,00 V (la resistencia de entrada es superior a 100k y la corriente de salida no es superior a 3ma)	0 V ~ +5,00 V (la resistencia de entrada es superior a 100k y la corriente de salida no es superior a 3ma)	0 V ~ +5,00 V (la resistencia de entrada es superior a 100k y la corriente de salida no es superior a 3ma)	0 V ~ +5,00 V (la resistencia de entrada es superior a 100k y la corriente de salida no es superior a 3ma)
13	Fuente de alimentación	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA
14	peso	1,1 kg	1,1 kg	1,1 kg	0,92 kg

Producto similar Recomendar