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Sensor de presión súper micro cyg502

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Descripción general

El sensor de presión en miniatura cyg502, con un tamaño nominal de 2 mm de diámetro exterior, está diseñado especialmente para aplicaciones que requieren un tamaño de instalación más pequeño en experimentos de mecánica de fluidos. Es el sensor de presión más pequeño de los productos lanzados por nuestra empresa en la actualidad.

Detalles del producto

El sensor de presión en miniatura cyg502, con un tamaño nominal de 2 mm de diámetro exterior, está diseñado especialmente para aplicaciones que requieren un tamaño de instalación más pequeño en experimentos de mecánica de fluidos. Es el sensor de presión más pequeño de los productos lanzados por nuestra empresa en la actualidad.

Los componentes sensibles a la presión del cyg502 están diseñados y fabricados con la tecnología avanzada de sistemas mecánicos eléctricos miró. Los elementos sensibles a la presión piezoresiva de silicio integrados en tres dimensiones y procesados en dos lados tienen una excelente precisión lineal. La Alta consistencia del puente de tensión de Wiston fabricado por implantación de iones y litografía fina lo hace tener una pequeña deriva de temperatura. La tecnología de unión directa de silicio y silicio y el diseño de ranura en V invertida se utilizan para optimizar el tamaño de la película delgada del chip utilizable, reduciendo el tamaño de todo el chip a un tamaño de 1 × 1 mm, mientras que la sensibilidad de salida todavía puede alcanzar un rango de 100 kpa, logrando un avance clave para La realización de sensores ultramicro.

El cambio de la Unión de silicio - vidrio en el diseño tradicional a la Unión de silicio - silicio mejora el efecto de emparejamiento térmico y reduce la inestabilidad cero causada por el estrés.

En la actualidad, las variedades que se han puesto en el mercado tienen productos de modo de medición de presión absoluta, y el tipo de presión de medidores se está desarrollando.

El sensor de presión súper micro de presión absoluta cyg502a es en forma de sonda, con un diámetro exterior estándar de 2,15 mm y una longitud de 18 mm, y el rango opcional del sensor es de 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500, 4000kpa presión absoluta.

La parte delantera del elemento sensible para el sensor de presión absoluta cyg502a está bajo presión. Por lo tanto, solo se aplica a gases secos cuyo medio es no corrosivo y no conductor. Tiene una zona de temperatura de trabajo bastante amplia, que puede alcanzar - 55 ℃ ~ + 120 ℃, y también tiene excelentes características dinámicas de alta frecuencia. la frecuencia natural de los elementos sensibles de su rango más bajo es superior a 200 khz, y el tiempo de subida es de submicrosegundos.

1. parámetros de los indicadores de rendimiento

Indicador / nivel de horario Precisión no lineal
±% FS
Repetibilidad del retraso
%FS
Coeficiente de temperatura cero
× 10-4Fs / gradoscelsius
Coeficiente de temperatura de sensibilidad
× 10-4Fs / gradoscelsius
Deriva a cero
<mv/8h
JA 0.5 0.1 5 5 0.2
JB 0.2 0.1 2 2 0.1

2. salida de rango completo: mínimo 30 MV valor típico 80 MV valor máximo 130 MV

3. resistencia a la entrada y salida: mínimo 3 k Omega valor típico 5 k Omega valor máximo 7 k Omega

4. corriente de trabajo de entrada: 1,5 ma (tipo de presión de metro) 1 ma (tipo de presión absoluta) (fuente de corriente constante)

5. rango de temperatura de trabajo: - 55 ℃ ~ + 120 ℃.

6. rango de temperatura de compensación: - 10 ℃ ~ + 80 ℃.

7. capacidad de sobrecarga: 200% del rango nominal

8. sensibilidad a la aceleración: ≥ 0001% fs / g

9. dibujo de la forma y el tamaño: cyg502a

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