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Medidor de flujo especial para equipos CMP medidor de flujo ultrasónico de la serie ufm400

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Descripción general

El medidor de flujo ultrasónico de la serie ufm400 del medidor de flujo especial para equipos CMP $r $ncmp, es decir, pulido químico - mecánico, es una tecnología que combina química y mecánica para moler y pulir con precisión la superficie de las pastillas de silicio. Es la base de hardware de esta tecnología la que puede lograr la planificación global de la superficie de las pastillas de silicio y proporcionar una buena base para los procesos posteriores. El equipo CMP es un equipo de proceso clave en el campo de la fabricación de semiconductores.

Detalles del producto

Medidor de flujo especial para equipos CMP medidor de flujo ultrasónico de la serie ufm400

I. conceptos básicos del pulido químico - mecánico (cmp):

CMP, Es decir, el pulido químico - mecánico, es una tecnología que consiste en moler y pulir con precisión la superficie de las pastillas de silicio mediante una combinación de química y mecánica. Es la base de hardware de esta tecnología la que puede lograr la planificación global de la superficie de las pastillas de silicio y proporcionar una buena base para los procesos posteriores. El equipo CMP es un equipo de proceso clave en el campo de la fabricación de semiconductores.

Medidor de flujo especial para equipos CMP medidor de flujo ultrasónico de la serie ufm400

CMP设备专用流量计UFM400系列超声波流量计


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