Medidor de concentración de ácido fosfórico de alta temperatura

Tipo de fibra óptica horiba / Horie Field CS - 620fMedidor de concentración de ácido fosfórico de alta temperaturaDetalles del producto:

En el proceso 3D nand, se depositan decenas de capas de sílice y nitruro de silicio, y se utiliza ácido fosfórico de alta temperatura para grabar selectivamente la capa de nitruro de silicio. En este proceso, al controlar la concentración y la temperatura del líquido químico, se puede obtener la tasa de grabado esperada. Los modelos maduros son difíciles de medir líquidos químicos de alta temperatura, pero el CS - 620f puede medirse a altas temperaturas de hasta 170 grados celsius. Las mediciones continuas con espectros de absorción requieren menos mantenimiento y consumibles que otros métodos.

Características del producto

● se puede medir una alta concentración de ácido fosfórico de hasta el 92%.

●No se necesita un mecanismo de enfriamiento ni un tiempo de enfriamiento.

●No es necesario enfriar el ácido fosfórico de alta temperatura (140 a 170 ° c) en la línea de circulación, que se puede medir directamente.

●Las muestras están expuestas con PFA para reducir el riesgo de contaminación.

●El uso de un ciclo de corrección de fondo semestral ayuda a reducir significativamente el tiempo de inactividad de la máquina.

●La actualización de los datos de medición cada 3 segundos ayuda a un uso más rápido de la retroalimentación de concentración para el control.

Estabilidad

▶ Los resultados de la medición de la muestra (líquido medicinal real) se midieron durante 1 hora, mostrando una buena estabilidad.

▶ Condiciones de medición

Ciclo de medición: tiempo de medición cada 3 segundos: promedio móvil de 1 hora: 16 veces.

Concentración de la muestra (concentración inicial de la muestra) h3po 4: 92,2% h2o: 7,8% temperatura de la muestra: 141 ° c.

Tipo de fibra óptica horiba / Horie Field CS - 620fMedidor de concentración de ácido fosfórico de alta temperaturaParámetros del producto:

Más recomendaciones:

Medidor de concentración de líquido químico de fibra óptica CS - 600f

El CS - 600f ofrece funciones más avanzadas adecuadas para la producción, como la capacidad de medir productos químicos de alta temperatura en línea en diversas aplicaciones, reducir el funcionamiento estable del tiempo de inactividad y aumentar el tamaño compacto de la productividad espacial,Para satisfacer la gestión precisa de la concentración de líquidos químicos necesarios para un excelente proceso húmedo de semiconductores.

Tamaño más pequeño y diseño más flexible

El medidor de concentración CS - 600f tiene un tamaño compacto, un 36% menos de altura y un 40% menos de volumen que el modelo maduro (serie CS - 100f1), y un 46% menos de espacio necesario para el cable de fibra óptica de la unidad de muestra. La unidad de fuente de luz y la unidad principal del medidor de concentración se pueden instalar por separado a distancia, lo que admite una instalación flexible de acuerdo con la ubicación de la unidad de líquido químico y el equipo de limpieza.

Medición en línea de alta estabilidad de soluciones químicas de alta temperatura (20 a 80 ° c)

Los nuevos sistemas ópticos y los algoritmos de procesamiento mejorados admiten la medición en línea de líquidos químicos de alta temperatura, que es un paso clave en un excelente proceso húmedo. Esto elimina la necesidad de enfriar las muestras químicas. La estabilidad CS - 600f de horiba es alta,Se ha logrado un manejo más eficaz y preciso de los líquidos químicos.

La frecuencia de corrección de fondo se reduce significativamente

En comparación con los modelos maduros (serie CS - 100f1), la frecuencia de corrección periódica se reduce significativamente, lo que a su vez reduce significativamente el tiempo de inactividad de la máquina y ayuda a aumentar la producción.

Un solo medidor de concentración puede medir hasta seis productos químicos (tipo de líquido o rango de concentración)

Un solo medidor de concentración puede medir hasta seis productos químicos (tipo de líquido o rango de concentración). Se puede especificar libremente el tipo de líquido medicinal y el rango de concentración, y el CS - 600f garantiza que cumple con varios requisitos de detección.

Se pueden exportar hasta seis componentes de las mediciones (salida en serie)

Los modelos maduros (serie CS - 100f1) pueden exportar las mediciones de cuatro componentes (salida en serie). El nuevo modelo CS - 600f puede exportar hasta seis mediciones de componentes en modo de salida en serie.El modelo CS - 600f simula la salida de cuatro componentes, mientras que el modelo CS - 100f1 es de dos.

Parámetros del producto: