Se aplica un cierto voltaje a los dos electrodos de la lámpara de cátodo hueco para formar un campo eléctrico. La lámpara está cargada de gas inerte, siempre hay un pequeño número de átomos ionizados en electrones libres e iones positivos a temperatura ambiente, bajo la acción de un campo eléctrico, aceleran el movimiento hacia el ánodo y el cátodo, respectivamente, chocan con otros átomos durante el movimiento, lo que resulta en la ionización atómica, liberando electrones secundarios, aumentando los electrones y iones positivos, manteniendo el fenómeno de descarga y manteniendo el voltaje de funcionamiento de la descarga más bajo que el voltaje de brillo.
Durante el bombardeo, la superficie interior del cátodo se evapora debido al calor atómico, lo que es más obvio para la volatilización de bajo punto de fusión. Al mismo tiempo, los grupos de iones positivos con un gran movimiento acelerado, el bombardeo en el cátodo indica que sus átomos se salpican. Los átomos de la superficie interior del cátodo salpicados y evaporados por el calor entran en el interior del cátodo hueco y chocan inelásticamente con iones positivos, electrones secundarios y átomos de gas que se aceleran durante la descarga, obteniendo así energía estimulada a Estados de alta energía. Cuando vuelve al Estado del suelo, libera la energía obtenida en forma de longitud de onda característica de radiación. Cuando se produce una colisión inelástica de alto nivel energético, se emite una línea de chispa o una línea de iones; Cuando se produce una colisión inelástica de bajo nivel de energía, se emite una línea Atómica.
Cuanto mayor sea la densidad Atómica correspondiente en el cátodo hueco, mayor será el número de colisiones y mayor será la intensidad de radiación característica generada. Cuando el número de átomos que se escapan del cátodo vuelve al cátodo después de la difusión de los átomos que se salpican y se evaporan en caliente, la densidad Atómica y la descarga correspondientes en el cátodo hueco se mantienen estables cuando la superficie se equilibra entre el número de átomos depositados en la pared de la carcasa de la lámpara u otras partes.
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