Instalación y puesta en marcha del sistema de tratamiento de superficie de plasma pluto30 de la Universidad de Fudan

Plutó30Es un sistema de plasma totalmente funcional diseñado para la investigación y el desarrollo.13,56 MHzEl generador de radiofrecuencia y la fuente de alimentación de la red de emparejamiento automático producen plasma uniforme en toda la zona del proceso.Plutó30La cavidad de vacío puede soportar hasta7Un estante de muestras ajustable para acomodar muestras de diversas formas y tamaños.Plutó30Con múltiples configuraciones de electrodos, se puede configurar comoRIEyPECVDModo, ampliando así el alcance de la aplicación del sistema, proporcionando a los usuarios una buena flexibilidad.

Los profesores del Departamento de polímeros de la Universidad de Fudan esperan utilizar este equipo para realizar experimentos de reacción química de plasma, es decir, utilizar el plasma producido por el equipo para realizar reacciones químicas con sustancias en la cavidad del vacío cuando la bomba de vacío y la válvula de gas están cerradas, y luego obtener nuevas sustancias producidas después de la Reacción química. Este experimento requiere un control preciso de los equipos de plasma y un alto requisito para la capacidad de retención de presión de la cavidad real. Después de algunas investigaciones, el cliente finalmente eligió a nuestra empresa.PlutónSeriePlutó30Sistema de tratamiento de superficie de plasma.

Áreas de aplicación:

Activación de la superficie

Aumentar la energía de la superficie para mejorar la adherencia del material: Unión de la matriz de prepresión; Adhesión de alambre de soldadura previa

Mejorar la fluidez de los coloides superficiales: preformación; Desbordamiento de chips preinvertidos

Rugosidad de la superficie y grabado

Reducir el estrés superficial y mejorar la adherencia superficial

Incineración y limpieza de superficies

Grabado de plasma plasma plasma plasma (con configuración rie)

Material dieléctrico / III - IV

Nanorecubrimiento (equipado con dispositivo de transporte de precursores líquidos)

Nanorecubrimiento resistente al agua: tratamiento de superficie de placas de circuito impreso

Nanorecubrimientos anticorrosivos: dispositivos médicos, implantes médicos