09,14,2026 4vistas
El elipsometro de matriz Mueller es ampliamente utilizado en la fabricación de ic, pantalla plana, dispositivos fotoelectrónicos, energía solar fotovoltaica, electrónica flexible y otras industrias estratégicas emergentes del país, como la investigación científica básica de nanomateriales, nanoestructuras y nanodispositivos, la optimización de procesos de fabricación, el monitoreo en línea de la producción en masa y otros enlaces, que son de importancia estratégica en *.
El elipsometro de matriz Mueller desarrollado por el proyecto "tecnología clave y aplicación de Elipsometría de matriz Mueller de amplio espectro de alta precisión" representa el alto nivel de la tecnología de elipsometro de matriz mueller. su proceso de desarrollo se enfrenta principalmente a tres desafíos técnicos: la tecnología de modulación de polarización de matriz Mueller de amplio espectro, la tecnología de calibración de precisión y corrección de errores de los parámetros del sistema de medición elipsométrica de matriz Mueller y la teoría y método de medición elipsométrica de películas nanoestructuradas complejas. la Universidad de Ciencia y tecnología de Huazhong y Wuhan yiguang Technology co., Ltd. han pasado más de 10 años superando las dificultades técnicas y han desarrollado con éxito a través de principios innovadores a través de varios proyectos * como el desarrollo de grandes instrumentos y equipos científicos nacionales, el plan nacional 863 y la Fundación Nacional de ciencias naturales de china.el elipsometro de matriz Mueller de alta precisión y amplio espectro con derechos de propiedad intelectual independientes de Taiwán ha logrado la transformación e industrialización de los resultados.
