El cristal de cuarzo y el Oscilador forman un circuito de resonancia que produce una señal de oscilación estable. La frecuencia de oscilación del nuevo chip es de 6 mhz. cuando el chip está recubierto, su frecuencia de resonancia disminuirá debido al aumento del peso y la tensión superficial del chip. este cambio de frecuencia es detectado por un medidor de frecuencia, que calcula el espesor de la capa recubierta en el chip de acuerdo con parámetros como la tasa de variación de frecuencia y la densidad del material y la resistencia acústica del material. Finalmente, la tasa de recubrimiento se calcula a partir de la variación del espesor de la capa interna por unidad de tiempo.

Primero instale la hoja de cristal en la parte delantera de la sonda y póngala en la Cámara de vacío. Establecer en el monitor el "factor herramienta" del material de película (utilizado para calibrar factores como la densidad y el estrés) y el grosor requerido. Luego comienza el recubrimiento, y el monitor muestra el grosor actual y la tasa de depósito en tiempo real. Cuando el espesor alcanza el valor preestablecido, el monitor envía una señal para cerrar automáticamente el deflector o la fuente de vapor y detener el recubrimiento.

El medidor de espesor de película puede medir directamente el grosor de la masa, el principio es simple, es adecuado para casi todos los tipos de materiales (metales, medios, etc.), y puede monitorear el grosor y la velocidad de deposición al mismo tiempo, controlar la estabilidad del proceso y reducir el costo de los equipos y consumibles (láminas de cristal) en comparación con el Método óptico. Sin embargo, se mide el espesor en la placa de cristal, no el espesor en el sustrato real, y hay un error de posición real. Es más sensible a los cambios de temperatura y necesita condiciones de trabajo estables. después de que la película de corte de cristal sea demasiado gruesa, fallará y necesita ser reemplazada. Al usarlo, es necesario seleccionar el uso del medidor de espesor de película de acuerdo con la situación real.