En高真空En ambientes, por calentamiento por resistencia eléctrica o bombardeo por haz de electronesMaterial de recubrimiento (fuente de vapor)Gasificación, el vapor se condensa en la superficie del sustrato para formar una película delgada,Evaporación térmica, evaporación de haz de electrones, recubrimiento al vacío, depósito de película delgada, PVD、 Material de evaporación