Medidor de espesor de película F50

F50 puede obtener la máxima recta muy simplementeMapa de distribución del espesor de la película de muestra con un diámetro de 450 mm. Utilizando la plataforma móvil de Coordenadas polares R - theta,Puede localizar rápidamente los puntos de prueba necesarios y obtener el grosor de la prueba en tiempo real, aproximadamentePrueba dos puntos por segundo.

Aplicaciones relacionadas:Fabricación de semiconductores (fotorresistente, óxido / nitruro / soi, molienda en la parte posterior de la obleas); Pantalla LCD (poliimida, película conductora transparente ito); Recubrimiento óptico (recubrimiento duro, capa antirreflectante); Sistemas microelectromecánicos microelectromecánicos (fotorresistentes, películas de silicio).

Escalón P7

El P - 7 permite mediciones 2D y 3D de la altura, la rugosidad, la deformación y el estrés de los escalones, y su escaneo puede alcanzar los 150 mm sin necesidad de empalme de imágenes.

Aplicaciones relacionadas:Escalones de película / película gruesa; Medición de la profundidad de grabado; Escalones fotorresistentes / fotorresistentes; Película flexible; Caracterización de la rugosidad / planitud de la superficie; Análisis de curvatura y contorno de la superficie; Medición de la tensión 2D de la película; Análisis de la estructura de la superficie; Imagen de contorno 3D de la superficie; Caracterización de defectos y análisis de defectos.

Medidor de resistencia de cuatro sondas R50

La serie filmerics R50 ofrece mediciones de sonda de cuatro puntos de contacto (4pp) y vórtice sin contacto (ce). La velocidad más rápida de 1 punto por segundo mapea la resistencia / conductividad eléctrica de la película conductora. La plataforma eléctrica de carga X - y utiliza ventosas de chip estándar para personalizar el portamuestras, que pueden medir muestras de hasta 300 mm, o un área de 200 mm.

Aplicaciones relacionadas:Dopaje de pastillas de silicio; Prueba de espesor de la capa metálica; Prueba de resistencia de obleas

Medidor de espesor de recubrimiento Bowman XRF

Tiene un área medible de 12 x 12 pulgadas superior a productos similares en piezas de trabajo de no más de 9 pulgadas de altura. El colimador múltiple automático permite seleccionar el tamaño del punto para adaptarse a varios tamaños característicos; Las cámaras zoom permiten la medición en un rango de enfoque de 0,25 a 3,5 pulgadas.

Aplicaciones relacionadas:Prueba del coeficiente de extinción del índice de refracción del material; Prueba del espesor de la capa de óxido natural de las pastillas de silicio; Prueba de la constante óptica del fotorresistente; Medición del espesor del metal en el silicio encapsulado en la parte trasera del Semiconductor

Elipsometro de longitud de onda múltiple FS - 1

El elipsometro de longitud de onda múltiple filmsense FS - 1 utiliza una fuente de Luz LED de larga vida útil y un detector de Elipsometría de componentes no móviles, que puede lograr una medición confiable de película delgada en un elipsometro compacto con una operación simple.

Aplicaciones relacionadas:Sílice y nitruro, materiales dieléctrico altos y bajos, materiales amorfos y policristalinos, películas de silicio, fotorresistentes.Películas de alto y bajo índice, como sio2, titania, ta2o5, mgf2.TCO (como ito), película de silicio amorfo, película orgánica (tecnología oled), etc.