Elipsometro espectralEs un instrumento de medición óptica de alta precisión utilizado principalmente para analizar las propiedades ópticas del material (como el índice de refracción, el coeficiente de extinción), el espesor de la película (de nanómetros a micras) y la información microestructural de la superficie / interfaz. Su principio central es utilizar los cambios en el Estado de polarización de la luz después de la reflexión o transmisión en la superficie del material, y a través del análisis de las propiedades físicas de este cambio, se utiliza ampliamente en semiconductores, películas ópticas, nanomateriales, biomedicina y otros campos.

El equipo se puede operar sin contacto, medición no destructiva y sin destruir la muestra; La medición del espesor puede alcanzar el nivel nanométrico; Sin marcar ni pretratar, adecuado para una variedad de materiales.

CompraElipsometro espectralAl hacerlo, se puede prestar atención a los siguientes puntos:

1. rango espectral: seleccione el rango espectral adecuado de acuerdo con las características ópticas del material de medición. Por ejemplo, los materiales transparentes deben prestar atención a la región espectral del índice de refracción, y los materiales absorbentes de ondas cortas se pueden expandir a la región transparente infrarroja para determinar el espesor.

2. precisión y repetibilidad de la medición: la precisión es el indicador central y la precisión debe verificarse a través de muestras estándar (como el aire); La repetibilidad refleja la estabilidad del instrumento y requiere múltiples mediciones y resultados de comparación.

3. modo de ángulo de incidencia: la medición de múltiples ángulos puede mejorar la fiabilidad, pero no todas las escenas son necesarias. Las estructuras complejas, como las películas multicapa y absorbentes, requieren mediciones de múltiples ángulos, mientras que las películas simples pueden medir un solo ángulo.

4. software de análisis: la medición del elipsometro es una medición indirecta, y los datos deben ajustarse y analizarse. El software debe tener una rica base de datos de materiales, capacidades flexibles de construcción de modelos y algoritmos eficientes para apoyar la inversión rápida y precisa de parámetros.

5. configuración de hardware: de acuerdo con la demanda, seleccione el hardware como el compensación de rotación, la base de cambio automático de ángulo y la tecnología de haz de convergencia.