Desafíos de la industria

La consistencia de la producción de agua ultrapura (upw) es esencial para la fabricación microelectrónica y ayuda a proteger la calidad del producto. Además del monitoreo básico de agua ultrapura, las fábricas de microelectrónica también se enfrentan a desafíos en cómo responder rápidamente a los resultados que se desvían de la tendencia y llevar a cabo una investigación efectiva de fallas y control de procesos. Otras áreas de preocupación incluyen garantizar la pureza de los productos químicos para mejorar el rendimiento del proceso y la producción en masa, así como monitorear las aguas residuales y el reciclaje del agua.

Los fabricantes de microelectrónica se enfrentan a diversos contaminantes orgánicos en la producción y experimentan diversos desafíos, entre ellos:

　　●Baja concentración de ppm en agua de alimentación y productos químicos de proceso de alta pureza

　　●Concentración del nivel ppt antes del pulido final

　　●Sustratos de muestras complejos en aplicaciones de reutilización y aguas residuales

　　●Necesidades clave para el monitoreo de partículas nocivas como el silicona

　　solución

Con el analizador de carbono orgánico total Sieves (toc) y el analizador de Boron de agua ultrapura (upw), Veolia puede proporcionar soluciones analíticas adecuadas para cada paso del proceso de fabricación microelectrónica. Dada su amplia gama de análisis y la versatilidad de sus aplicaciones, el analizador siepers toc se puede utilizar para monitorear el agua ultrapura, la pureza de los productos químicos del proceso, el agua reciclada y el tratamiento de aguas residuales. Debido a que el Boron se escapa primero del lecho de resina antes de la sílice, el analizador de Boron de agua ultrapura Sieves puede lograr el control de la sílice y el manejo del lecho de resina detectando un aumento de la concentración de boron.

　　Opciones de monitoreo integrales y flexibles

Hay dos técnicas de detección comúnmente utilizadas para monitorear toc en aplicaciones microelectrónicas de baja concentración: la conductividad de membrana y la conductividad directa. Los productos de Sieves cubren ambas tecnologías, además de ofrecer métodos de oxidación química húmeda adecuados para sustratos más complejos, como productos químicos de proceso y aguas residuales.

Podemos proporcionar los siguientes instrumentos y productos:

　　●Los analizadores siemons m9e, m500e y 500 rle toc utilizan la tecnología de detección de conductividad de membrana siemons.

◆ la tecnología de conductividad de membrana Sieves elimina los falsos positivos y falsos negativos causados por compuestos orgánicos halógenos y Aminas presentes en la mayoría de los sistemas de agua ultrapura

　　●El sensor toc de Sieves checkpointe utiliza tecnología de detección de conductividad eléctrica directa

　　 ◆Ofrece una opción económica adecuada para puntos de monitoreo de agua ultrapura no críticos

　　 ◆Herramientas para diagnóstico rápido e investigación de fallas

　　●El analizador Sieves innovox toc utiliza la detección infrarroja no dispersa (ndir) y la tecnología de oxidación por agua supercrítica (scwo).

　　 ◆Puede detectar con precisión y fiabilidad trazas de materia orgánica en ácidos concentrados, álcalis y productos químicos puros.

　　 ◆Se pueden monitorear aguas residuales y hasta un 30% de salmuera

　Requisitos de aplicación y soluciones para siever

　　Monitoreo de sistemas de suministro de agua, agua ultrapura y agua reciclada

Los analizadores toc en línea y portátiles Sieves m9e están diseñados especialmente para los sistemas y aplicaciones de agua más complejos. El analizador tiene un rango de análisis de 0,03 ppb a 50 ppm y utiliza la tecnología de conductividad de membrana para detectar con precisión la concentración de toc en el agua de alimentación del sistema, la producción de agua de ósmosis inversa y la producción final de agua. Con un modo Turbo opcional y un tiempo de análisis de solo 4 segundos, el analizador sieversm9e es una herramienta ideal de detección de fallas para la detección de agua reciclada.

Sieves m9e se puede implementar:

　　●Coincidencia entre instrumentos

　　●Estabilidad de la aplicación de pruebas de baja y media concentración en agua ultrapura de bajo toc

　　●Operaciones automatizadas como calibración, verificación y análisis de datos

　　●Período de estabilidad de calibración de 12 meses

　　●Función avanzada de ajuste automático cero, adecuada para la precisión y precisión del nivel ultrapuro

　Pureza de los productos químicos y las aguas residuales

Para lograr el rendimiento del proceso y optimizar la producción en masa, el control del toc es crucial en productos químicos de proceso como peróxido de hidrógeno, hidróxido de sodio, óxido de amonio, ácido sulfúrico y otros productos químicos de grabado / galvanoplastia. El analizador Sieves innovox toc es muy adecuado para este tipo de monitoreo, así como para el monitoreo de compuestos orgánicos en aguas residuales y aguas residuales recicladas.

Sieves innovox ayuda:

● las fábricas toman decisiones de cumplimiento y procesamiento más inteligentes

　　●Puede proporcionar pruebas directas de carbono en tiempo real, lo que contrasta fuertemente con las pruebas indirectas de demanda de oxígeno.

　　●Tratamiento de sustratos complejos con tecnología de oxidación de agua supercrítica (scwo)

Resumen del analizador Sieves y sus aplicaciones en la fabricación Microelectrónica

　　Referencias

1.Godec, Richard D., "Monitoreo y control de la contaminación de nitrógeno orgánico de UPW para mejorar el control del proceso de fotolitografía de inmersión."Presentado en la conferencia de agua ultrapura, Portland, OR, noviembre de 2011, Tall Oaks Publishing, Inc.

Godec, Richard D., “La comparación del rendimiento de los analizadores de TOC de agua ultrapura utilizando un aparato de adición estándar automatizado. Publicado y protegido por Semiconductor Pure Water and Chemical Conference, 2000 Proceedings.

Dunn R., Nueva técnica analítica promueve la eliminación de sílice en sistemas de alimentación, vapor y condensado.