El horno eléctrico tubular de atmósfera es un equipo que realiza el tratamiento térmico de materiales controlando con precisión la temperatura y el entorno gaseoso en el horno, y es ampliamente utilizado en semiconductores, nueva energía, metalurgia y otros campos. Sus componentes centrales incluyen un módulo de calefacción, un sistema de control de temperatura, una unidad de transporte de gas y una cavidad sellada.

I. análisis de la clasificación de fallas típicas

1. fenómeno de temperatura fuera de control

- características de la apariencia: la temperatura medida se desvía del valor establecido > ± 5 ° c, y la tasa de calentamiento es anormal (por ejemplo, la temperatura original de 10 ° C / min se reduce a 3 ° C / min).

- localización de la causa raíz:

- * falla del termómetro *: rotura del alambre de pareja o envejecimiento del alambre de compensación, lo que resulta en distorsión de la señal de retroalimentación.

- * desequilibrio de los parámetros de la EIP *: la banda proporcional demasiado estrecha causa conmoción, y el tiempo de integración inadecuado causa error de Estado estable.

- * Corte de circuito del elemento de calefacción *: ablación local del alambre de molibdeno / barra de silicio y molibdeno, el cambio repentino de la resistencia hizo que la salida de potencia cayera bruscamente.

Proceso de eliminación:

① verificar la temperatura del horno con un termómetro infrarrojo; ② reemplazar el mismo modelo de termómetro y volver a calibrarlo; ③ restablecer los parámetros de la EIP al valor predeterminado de la fábrica; ④ desconecte el circuito principal y el multímetro detecta la conexión del elemento de calefacción.

2. crisis de fugas de gas

Nivel de riesgo: la fuga del medio de hidrógeno hasta el límite de explosión constituye un importante riesgo de Seguridad.

- método de trazabilidad:

- método de pulverización de agua jabonosa: pulverizar la interfaz de la brida y la válvula de la aguja, y la burbuja se abulta para determinar el punto de fuga.

Detector de fugas de presión positiva: cargar 0,02 MPA de nitrógeno y mantener la presión durante 30 minutos con una caída de presión inferior al 1% está calificado.

Reparación de emergencia:

- deformación del anillo o → reemplazar el anillo de sellado de fluorocaucho;

- alambre de deslizamiento roscado → enredado en el cinturón de materia prima de ptfe;

- grietas en la soldadura → tratamiento de pulido después de la reparación de la soldadura por arco de argón.

3. el problema del deterioro del vacío

Rendimiento de presión negativa: la lectura del medidor de vacío es superior a 5pa y continúa aumentando, y el ruido anormal de la bomba de vacío acompañado de fiebre.

Análisis del quid de la cuestión:

- emulsión de aceite de bomba de etapa delantera → reemplazar el aceite de bomba de difusión especial;

- deformación distorsionada del fuelle → corrección del soporte de la tubería;

Fugas en el agujero de arena de la estufa → detección de penetración y defectos de posicionamiento.

- Mantenimiento profundo: realizar la desgasificación de horneado a alta temperatura una vez a la semana, cambiar el aceite de la bomba y limpiar el filtro cada mes.

4. el mecanismo de transmisión está atascado

- trastornos del movimiento: el temblor es obvio al empujar el material por la barra de empuje, y el amortiguador del terminal de viaje falla.

- Optimización de la lubricación: aplicar grasa de Disulfito de molibdeno en la Guía y rociar el agente antioxidante WD - 40 en la superficie de engranaje.

- ajuste de la brecha: la tuerca de precarga es necesaria cuando la brecha inversa del tornillo de bola es superior a 0,05 mm, y la fuerza de tensión del cinturón simultáneo se refiere al valor de par del manual.

5. trastornos lógicos procesales

Síntomas del accidente: falla táctil de la pantalla táctil, la curva del proceso salta a la sección inicial a mitad de camino.

- estrategia de reinicio:

Reinicio duro: cortar la fuente de alimentación general y esperar a que se complete la descarga del capacitor;

- reinicio suave: presione y mantenga la tecla 'reset' del panel PLC hasta que el indicador esté completamente apagado;

Actualización del firmware: introduzca la última versión estable del firmware a través del puerto usb.

- Refuerzo antiinterferencia: el cable de señal se cambia a un par trenzado blindado, con una resistencia a tierra inferior a 4 omega.

6. la capa de aislamiento térmico está rota

- aumento del consumo de energía: la temperatura de la superficie de la carcasa es superior a 60 ° c, y la pérdida de disipación de calor supera el valor de diseño en un 30%.

Proceso de restauración:

- colapso del módulo de fibra cerámica → demolición del algodón viejo y colocación del nuevo módulo, relleno de bolas huecas de alúmina en las costuras;

- agrietamiento del castable de Moshi → soldadura y refuerzo de clavos de anclaje, vertido de castable resistente a altas temperaturas por molde de apoyo;

- descamación por oxidación de la pantalla reflectante → papel de arena para pulir el sustrato y pulverizar pintura de alta emisión.

7. el sistema de refrigeración está paralizado

- alarma de sobrecalentamiento: la temperatura del agua circulante aumenta más de 10 ° C y el medidor de flujo muestra una atenuación del 50% del flujo.

- Programa de dragado:

- bloqueo de escala → inyección de solución de ácido cítrico para remojar y enjuagar con una pistola de agua de alta presión;

- la válvula electromagnética está atascada → desmontar y limpiar el agujero piloto y moler la tapa del núcleo de la válvula;

- el intercambiador de calor se congela → se cambia al anticongelante de Etilenglicol y se agrega un Trópico eléctrico.

8. falta de pureza de la atmósfera

Fuente de impurezas: niebla oleosa de aire comprimido, presión residual del cilindro de argón inferior a 0,5 mpa.

- medidas de purificación:

Filtro de tres niveles: filtro frontal + torre de absorción de carbón activado + filtro de precisión;

Reemplazo de gas: tres bombeo y tres filas (vacío - gas inerte cargado - vacío roto), tres repeticiones;

- desoxidación catalítica: la cama del catalizador de paladio se calienta a 300 ° C para activarse.

9. falla de la protección de Seguridad

- fallo de bloqueo: la puerta del horno todavía puede iniciar el calentamiento sin cerrar estrictamente, y la alarma de sobretemperatura es silenciosa.

- mejoras obligatorias:

Instalar un interruptor de límite mecánico para garantizar que la puerta se apague;

- la alarma de sonido y luz se suministra de forma independiente, y el botón de prueba simula fallas;

Orientación direccional de la placa de descarga, evitando la zona de operación del Personal.

10. deriva de la adquisición de datos

- desviación de registro: la curva de datos históricos muestra un salto escalonado y el archivo de registro carece de un período crítico.

- herramienta de diagnóstico: el monitor capta la forma de onda del bus rs485 y verifica la coincidencia de la tasa de baud; El registro de transacciones de la base de datos retrocede al nodo normal.

2. plan de respuesta a las condiciones especiales de trabajo

- apagón repentino: cierre inmediatamente la válvula principal de gas y gire el ventilador manualmente para evitar la deformación.

- escape de gases tóxicos: activar el dispositivo de absorción de pulverización y evacuar con un respirador de presión positiva.

- desastres sísmicos: Corte de energía de emergencia y fije el cuerpo del horno a la base antisísmica.