En la fabricación de semiconductores, el control ambiental de la Sala limpia y la aplicación de compresores de aire sin aceite, la calidad del aire comprimido está directamente relacionada con la seguridad de la producción y el rendimiento del producto. Entre ellos, el contenido de aceite residual es uno de los indicadores clave para medir la calidad del aire comprimido: incluso las trazas de vapor de aceite (como 0001 mg / mzo) pueden contaminar dispositivos de precisión o desencadenar defectos de proceso.El detector portátil de calidad del aire comprimido multicanal AQ 500M se ha convertido en la herramienta central para garantizar la limpieza del aire comprimido con su alta precisión y fiabilidad en la medición de residuos de aceite.

　　I. los desafíos centrales de la medición de residuos de petróleo y la solución de AQ 500M

Los aceites residuales en el aire comprimido incluyen principalmente gotas de aceite líquido, niebla de aceite suspendida y vapor de aceite gaseoso (como hidrocarburos, agentes aromáticos), cuyo contenido debe controlarse estrictamente dentro de la norma ISO 8573 (por ejemplo, el nivel 1 requiere aceites residuales ≤ 0,01 mg / m3). Los métodos de detección tradicionales se basan en el muestreo fuera de línea y el análisis de laboratorio, y tienen problemas como la mala puntualidad y la operación compleja, por lo que es difícil satisfacer las necesidades de monitoreo en tiempo real. El módulo de medición de residuos de aceite Oil Check 500, equipado con el AQ 500m, ha logrado una detección directa y rápida del vapor de residuos de aceite gaseoso a través de un innovador método de medición de "cambio de presión forzada" y sensores de alta precisión EIP (detector de fotoionización), que cubre un rango de medición de 0001 a 5 mg / m3, y el límite inferior de detección es tan bajo como 0001 mg / m3, una precisión suficiente para cumplir con los estrictos estándares de la clase 1 de la norma ISO 8573 (residuos de aceite ≤ 0,01 mg / m3), e incluso para monitorear el aire comprimido súper neto de mayor nivel.

　　II. ventajas tecnológicas: sinergia precisa, flexible e inteligente

　　1. alta precisión y amplio rango de medición:El Oil Check 500 utiliza sensores eip, que son altamente selectivos para vapor de aceite como hidrocarburos, y a través de algoritmos de compensación de temperatura y calibración de presión, se garantiza la estabilidad de los resultados de medición en diferentes presiones (3 a 9 bar) y temperaturas (+ 20 ° C a + 50 ° c). Su límite de detección de 0001 mg / mzo puede capturar con precisión una cantidad muy pequeña de aceite residual en el aire comprimido y evitar riesgos de proceso causados es es por fugas.

　　2. adaptación multiescenario:El AQ 500M admite una variedad de configuraciones portátiles, fijas y móviles. el sistema de muestreo móvil está equipado con mangueras de PTFE de 2M y conectores rápidos sin aceite y sin grasa, que pueden conectarse con flexibilidad a puntos clave como la salida del compresor y la parte trasera del filtro de carbón activado. El diseño modular permite a los usuarios seleccionar contadores de partículas (pc 400, detección de partículas de 0,1 micras m) y sensores de humedad residual (ds 400) de acuerdo con sus necesidades, logrando la detección simultánea de aceite residual, partículas, humedad y otros parámetros.

　　3. operación y mantenimiento inteligentes:El dispositivo integra la salida analógica de 4 a 20ma con la interfaz digital modbus rtu, y admite la generación de informes visuales a través de la versión básica del software de análisis CS (usb / Ethernet para leer datos); La unidad del sensor admite un reemplazo rápido en el lugar y verifica el rendimiento a través de un botón de prueba funcional incorporado para reducir el tiempo de inactividad.

　　III. valor de la aplicación: garantizar la calidad del aire en áreas clave

En la fabricación de semiconductores, AQ 500M puede monitorear en tiempo real la cantidad de aceite residual del aire comprimido utilizado en fotolitografía, grabado y otros equipos para evitar cortocircuitos o reducciones de rendimiento en chips causadas por la contaminación por aceite; En un entorno de Sala limpia, sus pruebas precisas garantizan que la limpieza del aire del sistema de suministro de aire cumpla con las normas ISO y proteja los instrumentos de precisión de la erosión por niebla de aceite; En el funcionamiento y mantenimiento del compresor de aire libre de aceite, se verifica la eficiencia de la filtración y se reemplazan los consumibles a tiempo mediante la detección regular del contenido de aceite residual en la parte trasera del filtro de carbón activado, lo que reduce los costos de mantenimiento.

AQ 500M detecta la medición de aceite residual de la calidad del aire comprimido y se convierte en el "controlador" del control de aceite residual en el sistema de aire comprimido con las características técnicas de "alta precisión, múltiples escenarios e inteligencia", proporcionando una garantía sólida para el funcionamiento seguro de la fabricación avanzada y los procesos limpios.