Como medio central del micro - nanoprocesamiento, la mejora de la eficiencia de la tecnología de escritura directa láser requiere esfuerzos coordinados desde las dimensiones del rendimiento del equipo, los parámetros del proceso y la integración del sistema. Las siguientes son las rutas clave de optimización probadas en la práctica:

I. avances en la eficiencia del hardware

Actualización del sistema de fuente de luz

El uso de láseres de fibra de alta potencia en lugar de láseres de gas tradicionales, junto con la tecnología de modulación de pulso adaptativa, puede ajustar dinámicamente la densidad de energía de un solo pulso de acuerdo con las características del material. Equipado con un módulo de cirugía plástica de manchas, las manchas redondas se corrigen a una distribución plana cuadrada / rectangular, lo que mejora la eficiencia energética. Se introdujo un esquema de exposición compuesto de doble longitud de onda para tener en cuenta las necesidades de alta precisión y mecanizado de alta velocidad.

Innovación del sistema de control de movimiento

Se selecciona la Plataforma de accionamiento del Motor lineal y se combina con la retroalimentación de la regla de rejilla nanométrica para lograr un posicionamiento de alta velocidad con una aceleración de 5g. Se utiliza una plataforma de carga de fibra de carbono ligera para reducir la masa inercial. Desarrollar un algoritmo de amortiguación de lectura previa prospectiva, analizar los archivos CAD con antelación para generar trayectorias de movimiento y eliminar el tiempo de viaje vacío de retorno del escaneo tradicional paso a paso.

Optimización de la ruta óptica

Diseño de una estructura de Camino óptico de retorno, a través del Grupo de espejos para lograr un solo escaneo para cubrir el doble de área. Se adopta un sistema de ajuste dinámico de apertura variable para igualar automáticamente la apertura óptica óptima de acuerdo con la demanda de ancho de línea y reducir la interferencia de luz dispersa. Integrar un grupo de lentes acromáticas activas para garantizar la consistencia del foco en diferentes longitudes de onda.

II. control inteligente de procesos

Optimización de la matriz de parámetros

Establecer una base de datos de materiales y parámetros y utilizar el diseño experimental Doe para seleccionar la combinación óptima. Desarrollar una estrategia de exposición segmentada para las características de los resistencias: las áreas grandes utilizan escaneo rápido de baja resolución, y la estructura fina cambia el modo de alta resolución. Introducir un algoritmo de compensación de dosis para corregir automáticamente el problema de la exposición insuficiente al borde.

Retroalimentación de monitoreo en tiempo real

Equipado con un sistema de imágenes concéntricas, cada capa detecta inmediatamente el tamaño clave (cdu) después de la exposición. Desarrollar un modelo de Ia de identificación de defectos, marcar anomalías como desconexiones y puentes en tiempo real y marcar automáticamente las coordenadas de reparación. Establecer un sistema de control de circuito cerrado para ajustar dinámicamente los parámetros de exposición en el siguiente momento de acuerdo con los resultados de las pruebas.

Proceso de conexión sin problemas

Desarrollar un software de disposición inteligente para organizar automáticamente los gráficos para minimizar la distancia de salto. Se realiza el cambio inteligente del procesamiento híbrido de haz de electrones / láser, las líneas gruesas se forman rápidamente por láser y la estructura fina se transforma en haz de electrones refinado. Configurar la interfaz en línea del manipulador para completar la circulación totalmente automática de exposición → desarrollo → horneado.

III. duplicación de la eficiencia a nivel de sistema

Arquitectura de computación distribuida

El procesamiento de datos del mapa se descompone en un clúster de múltiples nodos y se utiliza un algoritmo de rejilla acelerado por gpu. Desarrollar un Protocolo de transmisión de flujo de datos vectorial para realizar tuberías de datos procesadas mientras se calcula. Despliegue la unidad de computación de borde y preprocese el gráfico de la unidad repetida para formar una biblioteca de caché.

Diseño de unidades modulares

Se utiliza un módulo de motor óptico intercambiable para adaptarse a diferentes necesidades de longitud de onda. Diseñar una torre giratoria de lente de reemplazo rápido para lograr el cambio de duplicación sin necesidad de recalibrar. Se configura un sistema de enfoque automático para realizar la corrección de la distancia focal de milisegundos a través de la señal de enfoque común.

Sistema de fabricación verde

Desarrollar un modo de espera de bajo consumo de energía, reduciendo el consumo de energía al 10% durante los períodos no procesados. Recoger la luz dispersa para la iluminación ambiental, y la recuperación de calor residual se suministra al horno para precalentar. Establecer un modelo de predicción de la vida útil de los consumibles para indicar con precisión el momento del cambio para evitar PAROS repentinos.

IV. fortalecimiento del proyecto de factores humanos

Establecer un proceso de operación estandarizado (sop) y establecer parámetros complejos como fórmulas basadas en escenarios. Desarrollar un sistema de mantenimiento asistido por ar para guiar a los novatos a completar rápidamente el mantenimiento diario. Implementar un plan de mantenimiento preventivo para predecir el Estado de desgaste de los componentes mecánicos a través del análisis del espectro de vibración.