MFC(controlador de flujo de masa de gas) es un instrumento de precisión capaz de medir y controlar con precisión el flujo de masa de gas. su principio central se basa en la tecnología de medición de conducción de calor o diferencia de presión. a través de sensores y válvulas de control, se realiza un control de flujo de alta precisión y respuesta rápida. es ampliamente utilizado en la fabricación de semiconductores, industria química, farmacéutica, Monitoreo Ambiental y otros campos.
MFCÁreas de aplicación:
Fabricación de semiconductores
Controlar con precisión el flujo de gas en los procesos de depósito químico de vapor (cvd), grabado y difusión para garantizar la calidad del chip. Por ejemplo, controlar el flujo de gas de reacción como el Silano para garantizar la uniformidad de la deposición de películas.
Producción química
Optimizar las condiciones de reacción y mejorar la eficiencia de la producción. Por ejemplo, controlar el flujo de reacción para controlar la velocidad y eficiencia de la reacción química.
Industria farmacéutica
Garantizar la precisión y fiabilidad del suministro de gas estéril. Por ejemplo, controlar el flujo de medicamentos o gases para garantizar el funcionamiento normal de los equipos médicos.
Vigilancia y gobernanza ambiental
Monitorear el flujo de gas en la atmósfera en tiempo real y proporcionar soporte de datos para la evaluación de la calidad del aire, el rastreo de fuentes de contaminación y el control de la contaminación. En equipos de protección ambiental como el tratamiento de gases residuales y la purificación del aire, el flujo de gas durante el tratamiento se controla con precisión para garantizar que el efecto del tratamiento sea óptimo.
Otras áreas
Medición y control del flujo de masa de combustible y gas de calderas y hornos de craqueo; Medición del flujo de masa de la industria petroquímica, la extracción de petróleo y el gas de antorcha; Medición y control del flujo de masa de aire para el horno de combustión; Procesamiento de alimentos, control de cloro en plantas de agua, etc.