Como equipo clave en la fabricación de semiconductores, el embalaje microelectrónico y el tratamiento de materiales de precisión, la estabilidad y la repetibilidad del proceso de la máquina de eliminación de plasma al vacío están directamente relacionadas con el rendimiento y el costo del producto. Para garantizar que el equipo esté en las mejores condiciones de trabajo durante mucho tiempo, prolongar su vida útil y garantizar la estabilidad y fiabilidad de los resultados del proceso, la implementación de un sistema de mantenimiento científico y riguroso es crucial. A continuación se detallará el método de mantenimiento de la máquina de eliminación de pegamento por plasma de vacío desde cuatro aspectos: diario, regular, componentes clave y desactivación a largo plazo.

I. mantenimiento básico diario: prevención de problemas antes de que ocurran

El mantenimiento diario es la primera línea de defensa para mantener la estabilidad del equipo, que es completada principalmente por los operadores del equipo durante el intervalo de producción.

1. limpieza e Inspección visual:

Fuera del equipo: antes y después de su uso diario, sumerja una pequeña cantidad de alcohol propano (ipa) o agua desionizada en un paño sin polvo para limpiar la superficie exterior del equipo, la ventana de observación y el panel de operación, eliminar el polvo y las manchas y mantenerlas limpias. Al mismo tiempo, verifique si la carcasa del equipo tiene daños obvios y si el dispositivo de bloqueo es normal.

Anillo de sellado de la puerta de la Cámara de proceso: antes de cada apertura de la puerta de la cámara, inspeccione y limpie el anillo de sellado de caucho flúor o silicona en la puerta de la Cámara. Limpie suavemente con un paño sin polvo sumergido en IPA para eliminar las pequeñas partículas en él y asegurarse de que no haya residuos, daños o deformaciones. Un buen sellado es la base para mantener un alto vacío.

2. monitoreo del Estado de funcionamiento:

Sistema de vacío: registre el tiempo de vacío de cada proceso. Si se descubre que el tiempo de bombeo al vacío se ha prolongado significativamente, puede significar la existencia de fugas de vacío o la disminución del rendimiento de la bomba mecánica, que deben reportarse a tiempo.

Parámetros del proceso: preste mucha atención a la estabilidad de parámetros clave como el reflejo de potencia de radiofrecuencia (rf), el flujo de gas y la presión de la Cámara durante el proceso. Las fluctuaciones anormales son a menudo un precursor del envejecimiento de los componentes.

Sistema de refrigeración: compruebe el manómetro y el medidor de flujo del sistema de circulación de agua de refrigeración, asegúrese de que los valores estén dentro del rango normal y toque para confirmar que la tubería de agua no se calienta anormalmente, asegurando la disipación efectiva de calor de la fuente de radiofrecuencia y la Cámara.

II. mantenimiento preventivo periódico: exámenes médicos sistemáticos

El mantenimiento regular debe ser realizado por un ingeniero de mantenimiento profesional de acuerdo con el tiempo de funcionamiento del equipo y el ciclo recomendado por el fabricante (generalmente trimestral o anual).

1. limpieza profunda de la Cámara de proceso:

Frecuencia: cada 200 - 400 horas de funcionamiento o cuando se detecta una disminución de los resultados del proceso (como la velocidad de eliminación de pegamento, la uniformidad).

Método: quitar los componentes móviles de la cámara, como la placa de electrodo, la Plataforma de carga, la cubierta de blindaje, etc. Limpie en sí mismo con pasta de molienda especial, papel de arena o plasma para eliminar los residuos de polímero y los subproductos de reacción adheridos a la superficie. Para las manchas obstinadas, se puede lavar y secar con agua desionizada después de remojar químicamente (como el uso de detergentes especiales como n - metilpirrolidona, preste atención a la seguridad). Principio central: evitar el uso de arañazos de objetos duros y evitar arañazos en la pared interior de la Cámara y en los electrodos, que pueden convertirse en fuentes de contaminación por partículas y afectar la uniformidad del plasma.

2. mantenimiento del sistema de vacío:

Bombas mecánicas:

Inspección y reemplazo del aceite de la bomba: inspección mensual del color y el nivel del aceite del aceite de la bomba mecánica. El ámbar claro es normal y si se convierte en marrón oscuro o blanco lechoso, indica que el aceite está contaminado o entra en el agua, debe cambiarse de inmediato. Dependiendo de la frecuencia de uso, generalmente se cambia el aceite de la bomba y el filtro de aceite cada 500 - 1000 horas de funcionamiento o cada seis meses.

Reemplazo del filtro de escape: reemplazar regularmente el filtro de escape de la bomba mecánica para evitar que el petróleo, el gas y las partículas no se propaguen para contaminar el medio ambiente o las líneas de vacío.

Medidor de vacío: calibrar regularmente el medidor de película capacitiva (cmg), etc., para garantizar una lectura precisa de la presión.

Detección de fugas: utilice un detector de fugas de espectrometría de masas de helio para detectar fugas cíclicas en todo el sistema de vacío para garantizar la estanqueidad del sistema.

3. mantenimiento del sistema de vías de gas:

Filtro de gas: reemplazar el filtro de filtro de partículas en la entrada de la fuente de gas y frente a la válvula solenoide de alta frecuencia para evitar que las impurezas entren en la Cámara y la válvula, generalmente cada seis meses o cada año.

Controlador de flujo de masa (mfc): MFC es un componente clave para controlar el flujo preciso de gas de proceso. Es necesario introducir gas estándar regularmente para la calibración para garantizar su precisión. Si no se utiliza durante mucho tiempo, se debe mantener una purga de nitrógeno en su interior para evitar bloqueos.

4. inspección del sistema de radiofrecuencia (rf):

Mantenimiento del emparejador: compruebe si los electrodos del capacitor variable en el emparejador tienen rastros de fuego o contaminación y limpie. Asegúrese de que su motor funcione correctamente y pueda lograr una coincidencia de resistencia rápida y precisa.

Cables y conectores de radiofrecuencia: compruebe si los cables de radiofrecuencia y las conexiones muestran signos de aflojamiento, envejecimiento o daño para garantizar una conexión confiable y evitar que el reflejo de energía dañe el generador de radiofrecuencia.

3. mantenimiento especial y reemplazo de componentes clave

Algunos componentes son consumibles, y su Estado determina directamente la calidad del proceso, que debe centrarse en el monitoreo y reemplazarse a tiempo.

1. anillo de sellado al vacío: bajo alta temperatura, irradiación de plasma y presión mecánica durante mucho tiempo, el anillo de sellado envejecerá y perderá elasticidad. Se recomienda reemplazar sistemáticamente todos los anillos de sellado principales (puertas de cavidad, ventanas de observación, alimentación de electrodos, etc.) cada 1 - 2 años o cuando se descubre que el vacío no se puede mantener.

2. ventana de observación: la ventana de Observación de cuarzo o alúmina se volverá gradualmente inútil bajo el bombardeo de plasma, lo que afectará la precisión del sistema de detección de puntos finales. Cuando la transmisión de luz disminuye significativamente, es necesario pulir o reemplazar.

3. aceite de bomba y filtro: siga estrictamente el ciclo de reemplazo, que es la "sangre" y el "riñón" del funcionamiento saludable del sistema de vacío.

IV. mantenimiento durante la suspensión prolongada

Si el equipo necesita permanecer inactivo durante más de un mes, debe ser sellado.

1. protección de la cámara: después de limpiar y secar la Cámara de proceso, llene el nitrógeno seco de alta pureza ligeramente por encima de la presión atmosférica y cierre todas las válvulas para evitar la entrada de aire y humedad.

2. protección del sistema de vacío: cierre la bomba mecánica, vacíe el aceite de la bomba e inyecte el nuevo aceite después de enjuagarlo con nuevo aceite. O, periódicamente (por ejemplo cada dos semanas) se activa la bomba mecánica durante media hora para mantenerla lubricada y sellada.

3. Corte de energía y protección contra el polvo: desconecte la fuente de alimentación principal (excepto el subsistema de soporte necesario) y cubra el equipo con una cubierta contra el polvo.