Una de las fallas más comunes en el Grupo de Bombas moleculares es que el vacío no está a la altura, lo que se manifiesta en que el valor de visualización del medidor de vacío siempre está por encima del valor objetivo y no puede alcanzar el Estado de alto vacío necesario para el proceso. Hay tres razones principales para este problema: una es el envejecimiento o el daño de los sellos, como las grietas alternadas del anillo de sellado de la brida debido a altas temperaturas y bajas temperaturas a largo plazo, lo que conduce a fugas de aire; En segundo lugar, hay bloqueos en la entrada de aire o tubería, y la acumulación de polvo y residuos de proceso dificulta la circulación del flujo de aire; En tercer lugar, el rendimiento de la propia bomba molecular se atenua, la hoja del rotor se desgasta o la velocidad del motor es insuficiente. En el diagnóstico, la superficie de sellado se puede detectar primero con un detector de fugas de espectrometría de masas de helio, y si se encuentra una fuga de helio, se puede reemplazar el sello; Revise nuevamente la tubería de admisión de aire, limpie o retire el bloqueo con aire comprimido; Si los dos primeros elementos no son anormales, es necesario detectar la velocidad del motor y reemplazar el rotor o el motor si es necesario.

El ruido y la vibración anormales también son sus fallas de alta frecuencia, produciendo ruidos duros o temblores violentos del cuerpo durante la operación, lo que no solo afecta la vida útil del equipo, sino que también puede dañar los componentes relacionados. La mayoría de las causas de la falla son desequilibrios mecánicos, como la destrucción del equilibrio dinámico del rotor, el desgaste del rodamiento o la lubricación insuficiente, o la conexión suelta del Grupo de la bomba con la base. Los pasos de diagnóstico son los siguientes: primero detenga la máquina para comprobar los pernos de conexión y apriete con una llave de par de acuerdo con el par estándar; En segundo lugar, desmontar el cuerpo de la bomba, observar si la bola del rodamiento tiene arañazos y desgaste, reemplazarla inmediatamente si hay problemas y rellenar grasa especial de alta temperatura; Si el rodamiento es normal, es necesario calibrar el equilibrio dinámico del rotor para garantizar que su centro de gravedad sea estable al girar.

Además, las fallas de sobrecarga del motor también son más comunes, el equipo se detiene repentinamente durante el funcionamiento y el interruptor de protección contra sobrecarga en la Caja de distribución se desconecta. La avería suele ser causada por una carga excesiva, como la entrada de un cuerpo extraño en la cavidad de la bomba para bloquear el rotor, la mala disipación de calor del motor que conduce a una temperatura excesiva o un voltaje de alimentación inestable. Al investigar, primero se corta la fuente de alimentación, se gira manualmente el rotor y, si hay un atasco, se desmonta el cuerpo de la bomba para eliminar cuerpos extraños; Comprobar si el ventilador de disipación de calor del motor está dañado, si el canal de disipación de calor está bloqueado y limpiar o reemplazar los componentes a tiempo; Al mismo tiempo, se utiliza un multímetro para detectar el voltaje de la fuente de alimentación para asegurarse de que está dentro del rango de voltaje nominal del equipo e instalar un dispositivo de Estabilización de tensión si es necesario.

Su diagnóstico y eliminación de fallas deben seguir el principio de "observar primero los fenómenos, luego analizar las causas y finalmente tratarlos con precisión", mientras que el mantenimiento preventivo se lleva a cabo regularmente, como limpiar la superficie de sellado, comprobar el Estado del rodamiento, calibrar los parámetros del motor, etc., para minimizar la ocurrencia de fallas, garantizar el funcionamiento estable a largo plazo del equipo y proporcionar un soporte ambiental de vacío confiable para la producción y experimentación de alta precisión.