I. limpieza diaria

Inmediatamente después de cada proceso, los residuos en la superficie de la Mesa de calentamiento deben limpiarse. Utilice un paño libre de polvo de alta pureza para sumergirse en cetona o alcohol propano de grado electrónico, limpie suavemente la encimera y elimine el fotorresistente, los residuos metálicos o las partículas. Está estrictamente prohibido raspar con herramientas duras para evitar arañazos en áreas de control de temperatura de precisión o daños en el recubrimiento de la superficie. Para los residuos obstinados, se puede cooperar con la limpieza por ultrasonido (si se permite el desmontaje) o el tratamiento especial con líquido de desegelación. Después de limpiar, asegúrese de secar antes de ponerlo en uso.

II. calibración de la temperatura

La calibración de la temperatura debe realizarse cada 1 - 3 meses o 200 horas de funcionamiento acumulado. Utilizando un termómetro de superficie de alta precisión certificado por metrología (como un termómetro infrarrojo o una sonda térmica), se realizan mediciones comparativas en varios puntos clave de la encimera (centro, borde, cuatro esquinas) y se dibuja un mapa de distribución de temperatura. Si se descubre que la diferencia de temperatura supera el rango permitido por el proceso (generalmente ≤ 1 ° c), es necesario realizar una corrección multipunto a través del sistema de control o contactar con el fabricante para ajustar los parámetros de la eip. La calibración regular puede prevenir eficazmente las desviaciones del proceso causadas por el envejecimiento de los termómetros o el calentamiento desigual.

3. inspección de elementos de calefacción y sensores

Comprobar semestralmente si el alambre de calentamiento o el módulo de calentamiento cerámico tienen rastros de rotura, oxidación o sobrecalentamiento local; Observe si el sensor de control de temperatura (térmica o rtd) está en buen contacto y no se afloja. Si se encuentra una disminución en el rendimiento de los componentes, los accesorios originales deben reemplazarse a tiempo para evitar daños en las obleas o accidentes de seguridad causados por sobrecalentamiento local.

IV. mantenimiento de la planitud de la encimera y el rendimiento de adsorción

Para la Mesa de calefacción con función de absorción de vacío, verifique regularmente si el agujero de vacío está bloqueado y limpie con aire comprimido. Detectar la planitud de la encimera, medir con cristales planos ópticos o micrómetros, si la deformación excede el estándar, necesita ser molida y reparada. Asegúrese de que el anillo de sellado al vacío no esté envejecido, agrietado y reemplazado si es necesario para mantener una absorción uniforme y evitar que la pasta se deforme o se deslice.

V. inspección de los sistemas eléctricos y de control

Comprobar si el cable de alimentación y el terminal de cableado están sueltos y oxidados; Confirme que la puesta a tierra es confiable y evite la acumulación de electricidad estática. Verificar si el programa de control de temperatura, la protección contra sobretemperatura y las funciones de alarma responden normalmente. Evitar que las fluctuaciones de voltaje afecten la estabilidad del control de temperatura.