El medidor de evaporación de pulverización de magnetrón de alto vacío es un equipo utilizado para preparar películas finas en un ambiente de vacío a través de la combinación de tecnología de pulverización de magnetrón y método de evaporación, que se utiliza principalmente para la preparación de películas finas en materiales semiconductores, elementos ópticos y otros campos. ¿ sí?
Características de rendimiento
Alta calidad de la película: la película depositada por el chorro de magnetrón es densa y tiene una fuerte adherencia, lo que puede controlar con precisión el espesor y la composición de la película; La evaporación al vacío puede lograr la deposición de películas de alta pureza, y la combinación de los dos puede preparar películas con buenas propiedades, como películas ópticas y películas de dispositivos electrónicos, que tienen buenos resultados de aplicación.
Amplia gama de materiales de recubrimiento: puede procesar metales, aleaciones, compuestos, semiconductores y otros materiales, no sólo puede depositar películas de metales de alto punto de fusión, aleaciones y compuestos a través del chorro de magnetrón, sino también películas de metales puros y compuestos orgánicos a través de la evaporación al vacío.
Fuerte flexibilidad del proceso: se pueden lograr varios procesos de recubrimiento, como el chorro de un solo objetivo, el chorro de varios objetivos, el chorro de reacción, el recubrimiento de evaporación y sus procesos de combinación, ajustando la Potencia del chorro de magnetrón, la presión del gas, la distancia entre la base del objetivo, así como la temperatura de calentamiento y la velocidad de evaporación de la evaporación al vacío.
Área de aplicación
Campo electrónico: electrodos, capas de interconexión, capas de bloqueo para la preparación de chips semiconductores, así como películas conductoras transparentes para pantallas planas, películas ópticas aislantes, etc., como la preparación de electrodos transparentes de óxido de indio y estaño, capas de interconexión de cobre, etc.
Campo óptico: se pueden preparar películas ópticas como películas reflectantes, películas filtrantes y películas reflectantes para mejorar las propiedades ópticas de los elementos ópticos, como aplicaciones en dispositivos láser, células solares, lentes ópticas, etc.
Campo mecánico: depositar recubrimientos duros y resistentes al desgaste, recubrimientos autolubricados, etc. en superficies como moldes y rodamientos para mejorar su dureza, resistencia al desgaste y vida útil.
Campo de la decoración: se utiliza para recubrir películas metálicas, películas de aleación, películas de color, etc. en interiores y Exteriores de automóviles, carcasas de productos electrónicos, joyas y otras superficies para mejorar la estética y la decoración de los productos.