Pluto - 30 (30l) limpiador de plasma multifuncional - visualización en línea de vídeo

El Pluto - 30 es un sistema de plasma totalmente funcional diseñado para la investigación y el desarrollo, con un generador de radiofrecuencia de 13,56 MHz y una fuente de alimentación de red de coincidencia automática que produce plasma uniforme en toda la zona del proceso. La cavidad de vacío de pluto30 puede soportar hasta siete estantes de muestras ajustables para acomodar muestras de diversas formas y tamaños. Pluto30 cuenta con una variedad de configuraciones de electrodos que se pueden configurar en modo rie y pecvd, ampliando así el alcance de la aplicación del sistema, ofreciendo a los usuarios una buena flexibilidad.