I. preparación antes de la operación (se hace en 5 minutos, la seguridad es lo primero)

Controles de seguridad:

Confirmar que el instrumento está bien conectado a tierra (para evitar fugas de electricidad) y que la tensión de alimentación cumple con los requisitos nominales (como ac220v ± 10%);

Comprobar si las líneas de gas (como argón, oxígeno, nitrógeno) están bien conectadas y no hay fugas (se puede detectar a través de la Unión de aplicación de agua jabonosa, y es normal que no haya burbujas de aire);

Abra el Gabinete de ventilación (si se trata de muestras volátiles) o el dispositivo de escape para evitar que una pequeña cantidad de gas producido por la reacción de plasma contamine el medio ambiente.

Preparación de la muestra:

Limpiar con antelación las grandes impurezas (como polvo y aceite) en la superficie de las muestras a limpiar (como chips, vidrio, piezas de plástico, piezas metálicas) (limpiarlas con etanol anhidro y secarlas para evitar que las impurezas afecten el efecto de limpieza;

Fije la muestra en el estante de la muestra para asegurarse de que la superficie de la muestra no esté bloqueada (el plasma debe cubrirse uniformemente) y el estante de la muestra se coloque en el Centro de la cavidad de reacción (evite acercarse al electrodo).

Confirmación de consumibles y medio ambiente:

Comprobar la presión del cilindro de gas (generalmente es necesario mantener 0,2 - 0,5 mpa) para garantizar que el gas sea suficiente;

Confirme que la Junta de la puerta de la cavidad de reacción está limpia y no dañada (para garantizar el efecto de sellado al vacío) y que no hay fuertes vibraciones ni polvo en el entorno experimental (para evitar afectar el funcionamiento del instrumento).

2. pasos operativos básicos (configuración inteligente, sin intervención manual)

Arranque el instrumento y la extracción al vacío:

Encender la fuente de alimentación general del instrumento, activar el sistema de control (algunos modelos son operados por pantalla táctil), seleccionar "modo manual" o "modo automático" (novato recomienda modo automático, parámetros de limpieza comunes incorporados);

Cierre la puerta de la cavidad de reacción, Presione el botón de "bombeo de vacío", el instrumento activará automáticamente la bomba de vacío, bombeará la presión de la cavidad de reacción al vacío establecido (generalmente 10 - 100pa, ajustado de acuerdo con el tipo de muestra), y el instrumento avisará automáticamente después de completar el bombeo (el indicador está encendido o zumbido).

Entrada de gas y configuración de parámetros:

Elija el tipo de gas de limpieza (como oxígeno para limpiar el aceite, Argón para la activación de la superficie, argón + oxígeno para la limpieza compuesta) y establezca el flujo de gas (generalmente 10 - 50 sccm, el flujo es demasiado grande para destruir el vacío, y si es demasiado pequeño, la concentración de plasma es insuficiente);

Establecer los parámetros de limpieza:

Potencia (50 - 300w, selección de muestras duras de alta potencia, selección de muestras blandas / térmicas de baja potencia);

Tiempo de limpieza (30 segundos a 10 minutos, tiempo corto para la contaminación leve y tiempo largo para la limpieza profunda);

Algunos modelos admiten "parámetros segmentados" (como el preprocesamiento de baja potencia antes de la limpieza de alta potencia), que se pueden configurar bajo demanda.

Iniciar la limpieza por plasma:

Después de confirmar que los parámetros son correctos, Presione el botón "comenzar a limpiar" y el instrumento ejecute automáticamente el proceso: primero mantenga el flujo de gas y el vacío estables, y luego inicie la fuente de alimentación de radiofrecuencia para producir plasma (habrá un brillo débil en la cavidad de reacción, que es un fenómeno normal);

Durante el proceso de limpieza, la pantalla muestra el vacío, el flujo de gas, la potencia, el tiempo restante y otros parámetros en tiempo real, sin ajuste manual, si hay anomalías (como el vacío no está a la altura, fugas de gas), el instrumento llamará automáticamente a la policía y se detendrá.

3. cierre después de la operación (se completa en 3 minutos, instrumento de protección + muestra)

Detener la limpieza y el alivio de la presión:

Después del tiempo de limpieza, el instrumento cierra automáticamente la fuente de alimentación de radiofrecuencia y la válvula de gas y entra en el proceso de "alivio de presión" (introduciendo una pequeña cantidad de gas inerte en la Cámara de reacción, como nitrógeno, equilibrando la presión interna y externa);

Después de la finalización de la descarga (la presión en la Cámara de reacción se recupera a la presión atmosférica), el instrumento indica que "la operación se completa", en este momento se puede abrir la puerta de la Cámara de reacción.

Extracción de muestras e inspección:

Sacar la muestra con guantes y observar el Estado de la superficie de la muestra (por ejemplo, si está seca, sin residuos, si la tensión superficial aumenta, el efecto de limpieza se puede verificar a través de la prueba del ángulo de contacto de las gotas de agua);

Si es necesario procesar varias muestras continuamente, se puede repetir el paso de "preparación de muestras → vacío → limpieza", sin apagar la fuente de alimentación general del instrumento.

Apagado y mantenimiento del instrumento:

Después de completar el procesamiento de todas las muestras, cierre la válvula del cilindro de gas, Presione el botón "parada de la bomba de vacío" y cierre la fuente de alimentación general del instrumento después de que la bomba de vacío se detenga por completo (evite que la bomba de vacío regrese al aceite);

Limpie la Junta de la puerta de la Cámara de reacción y el estante de muestras con un trapo limpio, limpie una pequeña cantidad de polvo en la Cámara de reacción (si lo hay), mantenga el instrumento limpio y extienda la vida útil.

El proceso de operación de la máquina de limpieza de plasma es estandarizado e inteligente, todo el proceso se basa principalmente en "operación de botón + configuración de parámetros", sin ajustes mecánicos complejos o conocimientos químicos, los novatos pueden dominar la operación básica en 10 minutos. Su "complejidad" se refleja principalmente en la "selección de parámetros" (por ejemplo, diferentes muestras corresponden a diferentes gases, potencia, tiempo), no en el propio paso de operación - siempre y cuando se seleccionen los parámetros adecuados de acuerdo con el material de la muestra (duro / suave, resistencia a la temperatura) y el propósito de limpieza (desengrasamiento, activación, grabado), se puede lograr una limpieza eficiente.