Universidad de TsinghuaSe investigaron muchos equipos de tratamiento de superficie de plasma y finalmente se eligió Pluto - T producido por Shanghai peiyuan.Máquina de limpieza por plasma/ procesador de superficie.

De acuerdo con los requisitos técnicos del cliente, se proporcionan aquellos que pueden cumplir con todos los requisitos de los parámetros técnicos del profesor.Plutón-TLimpiador de plasma / procesador de superficie, el siguiente es el mapa de instalación y puesta en marcha del equipo.