El medidor de espesor de película micro - espectral es un instrumento de medición óptica de alta precisión que se utiliza principalmente para medir el espesor de películas, obleas, materiales ópticos y películas multicapa sin daños y sin contacto, y analizar sus constantes ópticas (como el índice de refracción y el coeficiente de extinción). Basado en los principios de interferencia y División de luz de la luz. Cuando la luz brilla sobre la superficie de la película, se refleja muchas veces entre la superficie delantera y trasera de la película, formando rayas de interferencia. Estas rayas de interferencia se descomponen en espectros de diferentes longitudes de onda a través de la tecnología de División de luz, y se mide su distribución de intensidad, y luego se utilizan algoritmos relacionados para calcular el espesor de la película, el índice de refracción y otros parámetros.
El medidor de espesor de película microespectral mide la reflectividad absoluta en una pequeña región a través de la espectrometría microscópica. Cuando la luz brilla sobre la superficie de la película, se producen fenómenos de reflexión y transmisión, y la luz se refleja muchas veces en la superficie delantera y trasera de la película para formar rayas de interferencia. La técnica de División de luz descompone estas rayas de interferencia en espectros de diferentes longitudes de onda y mide su distribución de intensidad, calculando así parámetros como el grosor, el índice de refracción (n) y el coeficiente de extinción (k) de la película.
característica
Medición de alta precisión: utilizando algoritmos de precisión, se realiza la medición del espesor de la película a nivel subnanométrico para garantizar la precisión y fiabilidad de los resultados. Satisfacer las necesidades de medición de películas de diferentes grosores.
Medición sin contacto: no es necesario entrar en contacto directo con la muestra durante el proceso de medición, evitar daños causados a la muestra por fuerzas externas y proteger la integridad de la muestra. Adecuado para la medición de materiales de película delgada valiosos o frágiles (como obleas semiconductoras, recubrimientos ópticos).
Medición rápida y visualización en tiempo real: el tiempo de medición es tan corto como 1 segundo por punto, soporta el escaneo automatizado de alta velocidad y mejora la eficiencia de la detección. Los datos del espesor de la película se muestran en tiempo real, lo que facilita el análisis rápido.
Amplio rango de longitud de onda y análisis de películas multicapa: el sistema óptico cubre la banda ultravioleta a infrarrojo cercano (como 230 - 1600 nm) y se adapta a las características espectrales de diferentes materiales. Soporta el análisis de la estructura de la película multicapa y puede medir el espesor y las constantes ópticas de la película multicapa al mismo tiempo.
Diseño fácil de usar: equipado con un asistente de software fácil de analizar, incluso el primer usuario puede completar rápidamente el análisis de constantes ópticas. La cabeza de medición independiente apoya las necesidades personalizadas y se adapta a los escenarios de monitoreo en línea de diferentes líneas de producción.