La industria de semiconductores se basa en materiales semiconductores como el silicio y cubre circuitos integrados, dispositivos fotoeléctricos y otros campos, de los cuales los circuitos integrados representan más del 80%. La industria tiene una fuerte demanda de agua ultrapura, la calidad del agua afecta directamente la calidad y el rendimiento de la producción, y el monitoreo del agua ultrapura se ha convertido en un eslabón clave.
En la actualidad, el estándar de agua ultrapura de semiconductores supera con creces los requisitos más altos de la norma nacional de agua electrónica, y los indicadores básicos incluyen: la resistencia eléctrica debe alcanzar más de 18,2 megaeuros (25 ° c), lo que garantiza que el contenido de iones sea extremadamente bajo; El toc (carbono orgánico total) se controla por debajo de 0,5 ppb para evitar afectar la precisión de la litografía; No más de 100 partículas por litro de partículas superiores a 0,05 micras; El oxígeno disuelto debe ser inferior a 1ppb para evitar la oxidación de iones metálicos.
El agua ultrapura se aplica a todo el proceso de producción, como el lavado de obleas, el proceso de litografía, el enfriamiento por grabado y el pulido mecánico, y también se utiliza para el enfriamiento de equipos y la investigación y el desarrollo de laboratorio. En el método de monitoreo, las partículas se detectan con un contador de partículas líquidas, TOC、 La resistencia eléctrica y el oxígeno disuelto se monitorean en tiempo real a través de instrumentos electroquímicos en línea, combinados con sistemas integrados para lograr la gestión dinámica de la calidad del agua.
El ciclo de monitoreo depende de la demanda de producción y los cambios en la calidad del agua, y es necesario tomar muestras y análisis periódicos. El agua ultrapura es tratada por acf, uf, ro, EDI y otros niveles por agua propia, y luego el toc se reduce por debajo de 1ppb a través del dispositivo de luz toc - uv.
Con la reducción del tamaño y la mejora de la precisión de los componentes semiconductores, los requisitos de calidad del agua siguen aumentando. La industria está haciendo frente a desafíos más estrictos mejorando la precisión de las pruebas y aplicando nuevas tecnologías como el monitoreo remoto para reducir las pérdidas de producción causadas por problemas de calidad del agua y garantizar la tasa de rendimiento del producto.